快科技 7 月 27 日消息，蔡司半导体制造技术公司（以下简称 " 蔡司 SMT"）近日宣布，启用德国新生产基地，以扩大 EUV 光学元件产量。

此次扩产意义重大，因为蔡司 SMT 是 ASML EUV 光刻机的唯一光学供应商，扮演着不可替代的角色，可以说没有蔡司就没有 EUV 光刻机。

蔡司 SMT 产能是限制 ASML EUV 光刻机产量的关键瓶颈，直接决定了 ASML 能否实现 2027 年增产 30% 的目标。ASML 在今年 2 月份发布的年报中警告，如果蔡司 SMT 的生产中断持续较长时间，ASML 将实际上停止运营。

蔡司 SMT 独家供应 ASML EUV 扫描仪中的透镜、反射镜和照明系统。一套 High-NA EUV 投影系统由超过 4 万个零件组成，重约 12 吨，单面反射镜制造需耗时数月。

为支持蔡司 SMT 扩产，ASML 提供了 19.1 亿欧元贷款和 11.9 亿欧元预付款。双方目标是将每台光刻机的组装周期从约 22 周缩短至 15 到 16 周，这将显著提升交付效率，缓解 EUV 光刻机供不应求的局面。

采购额方面，2023 年 ASML 从蔡司 SMT 采购 33.3 亿欧元的光学设备，2024 年达 39.5 亿欧元，2025 年增至 44.1 亿欧元。

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