证券之星 07-12
晶盛机电获得发明专利授权:“一种减薄装置和方法”
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证券之星消息,根据天眼查 APP 数据显示晶盛机电(300316)新获得一项发明专利授权,专利名为 " 一种减薄装置和方法 ",专利申请号为 CN202510494370.3,授权日为 2025 年 7 月 11 日。

专利摘要:本申请涉及一种减薄装置和方法,减薄装置包括:研磨盘用于承载晶圆,研磨盘可绕轴旋转;砂轮设置于研磨盘上方,砂轮用于竖直方向给进作用于晶圆以磨削晶圆;以及磁流体层位于研磨盘下方且连接于研磨盘;建立晶圆损伤的损伤函数模型;基于采集的振动加速度信号和损伤函数模型,确定砂轮转速、磨削液流速、磨削液供给流量以及磨削液喷射角度、砂轮给进压力、研磨盘转速、磁流体调节压力、以及磁流体支撑刚度,并应用于下一晶圆加工。通过调节参数降低晶圆损伤层,提高晶圆品质。

今年以来晶盛机电新获得专利授权 73 个,较去年同期减少了 9.88%。结合公司 2024 年年报财务数据,2024 年公司在研发方面投入了 11.19 亿元,同比减 2.29%。

通过天眼查大数据分析,浙江晶盛机电股份有限公司共对外投资了 34 家企业,参与招投标项目 195 次;财产线索方面有商标信息 112 条,专利信息 1046 条,著作权信息 135 条;此外企业还拥有行政许可 36 个。

数据来源:天眼查 APP

以上内容为证券之星据公开信息整理,由 AI 算法生成(网信算备 310104345710301240019 号),不构成投资建议。

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