10 月 13 日，光刻机概念股震荡上扬。

截至收盘，新莱应材（300260.SZ）、旭光电子（600353.SH）、凯美特气（002549.SZ）涨停，江丰电子（300666.SZ）、国林科技（300786.SZ）、华特气体（688268.SH）涨超 10%，苏大维格（300331.SZ）、*ST 和科（002816.SZ）等纷纷跟涨。

全球大厂爆买光刻机

在半导体产业里，光刻机作为上游设备领域的代表性产品，对产业发展起着决定性作用，是推动芯片制程进步、引领行业发展的关键力量。

近期，半导体光刻机领域动作不断，英特尔和三星等大厂提高了光刻机订单量。其中，英特尔将 ASML 的 High-NA EUV 订购数量从 1 套提高到 2 套，EUV 的订购数量从 3 套提高到 5 套；三星则将 EUV 的订购数量从原本的 5 套提高到 7 套。

业界指出，随着芯片制程不断向 2 纳米以及 2 纳米以下迈进，EUV 正逐渐逼近物理极限，而 High NA EUV 是开启半导体产业未来的核心技术。

据悉，高数值孔径 ( High-NA ) 是衡量镜头聚焦光线能力的指标，数值越高，分辨率越高，则能够绘制更精细的电路图案，能大幅缩短制造时间，从而降低缺陷率并提高良率。价格方面，单台 High NA EUV 光刻机售价约 3.7 亿美元（约合人民币 26 亿元），也被称为芯片市场上的 " 圣杯 "。

今年 9 月，SK 海力士宣布，已将业界首款量产型高数值孔径极紫外光刻机（High NA EUV）引进韩国利川 M16 工厂。此次引进的设备为荷兰 ASML 公司推出的 TWINSCAN EXE:5200B，它是首款量产型 High-NA EUV 设备。

SK 海力士计划通过引进该设备，简化现有的 EUV 工艺，并加快下一代半导体存储器的研发进程，从而确保在产品性能和成本方面的竞争力。另有消息称，SK 海力士计划在未来两年内新购置约 20 台 EUV 光刻系统，投资规模预计至少在 6 万亿韩元以上。

值得关注的是，在全球半导体产业格局深刻变革的背景下，我国光刻机国产化进程迎来重大突破。

公开资料显示，目前国产光刻机在 90nm 及以下工艺节点方面取得了重要进展。例如，上海微电子自主研发的 600 系列光刻机已实现 90nm 工艺的量产，并正在进行 28nm 浸没式光刻机的研发工作。

近日，深圳稳顶聚芯宣布，公司自主研发的首台国产高精度 Stepper（步进式）光刻机顺利出厂，主要应用于 mini/micro LED 光电器件、光芯片、功率器件等化合物半导体领域，能够满足硅片、蓝宝石、SiC（碳化硅）等衬底的不同胶厚光刻工艺需求。公开资料显示，稳顶聚芯成立于 2023 年 5 月，位于深圳南山区。目前，公司具备年产 20 台光刻机的产能，预计 2025 年实现营收 1.4 亿元、净利润 4480 万元。

9 月 29 日，洪田股份间接控股子公司洪镭光学宣布，其首台 HL-P20 直写光刻机已通过华南某 FPC 客户验收。该设备为面向 PCB 领域的双台面激光直写机型，具备 20 μ m 光学解析力、± 8 μ m 对位精度，产能超 8.5 面 / 分钟，满足 FPC 与 HDI 线路曝光需求。经客户工厂批量测试，各项指标达标，标志该产品正式获得市场认可。

年内已诞生 9 只翻倍股

随着光刻机技术的突破将带动上游材料、精密机械等配套产业升级，加速光刻胶、光学部件等 " 卡脖子 " 材料的国产化进程，形成 " 龙头带动、多点突破 " 的产业升级格局。

同花顺数据显示，目前，A 股光刻机概念一共有 47 家上市公司。从二级市场表现看，今年以来，截至 10 月 10 日收盘，42 家上市公司股价出现上涨。

其中，联合化学（301209.SZ）、凯美特气（002549.SZ）、腾景科技（688195.SH）、旭光电子（600353.SH）、炬光科技（688167.SH）、芯碁微装（688630.SH）、波长光电（301421.SZ）、茂莱光学（688502.SH）新莱应材（300260.SZ）9 家公司股价成功实现翻倍。

从今日走势看，新莱应材触及涨停板。公司主营业务之一为洁净应用材料和高纯及超高纯应用材料的研发、生产与销售，产品主要应用于食品安全、生物医药和泛半导体等业务领域。在泛半导体领域，公司的高纯及超高纯应用材料可以满足洁净气体、特殊气体和计量精度等特殊工艺的要求，同时也可以满足泛半导体工艺过程中对真空度和洁净度的要求。

据 2025 年 8 月 27 日机构调研，公司真空系统 AdvanTorr、气体系统 NanoPure 已应用于泛半导体产业链，并通过美国排名前二半导体设备厂商认证成为其一级供应商。公司坚持国产替代战略，在半导体设备及厂务端零部件市场积极布局，预期该业务板块将保持高速增长。

凯美特气今日触及涨停板，该股近一年涨停 27 次。公司主营高纯二氧化碳、氢气、燃料气及电子特种气体，在二氧化碳行业保持龙头地位，并围绕世界 500 强石化企业布局，持续扩大芯片半导体、航天、医疗等高端领域电子特气产能。

公开资料显示，特种气体是随着电子行业的兴起而在工业气体门类下逐步细分发展起来的新兴产业，属于高技术高附加值产品。按应用领域划分，特种气体主要包括电子特气、医疗气体、激光气体、电光源气体等。其中，电子特气广泛应用于清洗、光刻、刻蚀、掺杂、外延沉积等半导体工艺制程中，是我国追求半导体领域独立自主的必经领域。

2017 年，凯美特气设立电子特种气体分公司并投建电子特气项目，目前公司光刻气产品已获得 ASML 子公司 Cymer 及 GIGAPHOTON 等光刻机厂商的合格供应商认证，准分子激光气体产品已获得 Coherent（相干）认证。客户方面，公司积极切入国内外高端客户，已经与中芯国际、长江存储等龙头企业建立合作关系。公司还计划依托全国多地建设生产基地，扩张产能，强化循环经济模式，提升资源利用效率。未来，随着电子特气国产替代进程加快及氢能等新兴领域需求上升，公司有望借助产能扩张打开增长新空间。