快科技 6 月 11 日消息,在先进工艺方面,除了最受关注的光刻机之外,国内被卡脖子的环节还有先进光刻胶,现在又有一家公司杀进这个市场,开始给国内头部晶圆厂供货了。
鼎龙股份今晚发布公告,宣布近期在 KrF/ArF 高端晶圆光刻胶领域持续取得订单突破。
公司年产 300 吨 KrF/ArF 高端晶圆光刻胶产线自 2026 年 3 月 20 日投产后,已向两家头部晶圆厂客户交付数百加仑浸没式 ArF 及 KrF 光刻胶,并在客户量产产线顺利应用。
因公司光刻胶产品性能稳定、使用效果良好,上述两家客户近期合计新增订单近 1,000 加仑。
截至本公告披露日,公司已有 8 款高端晶圆光刻胶(其中 ArF 光刻胶与 KrF 光刻胶各 4 款)取得多家国内主流晶圆厂客户的批量订单,即较今年一季度末新增 5 款,并有数款产品预期在今年年内实现订单转化。
公司正积极提升产品交付速度,2026 年上半年产品交付量预计显著提升,商业化进程显著加快。
测试进展方面,公司已经累计布局 40 余款高端晶圆光刻胶,近 30 款产品向客户送样开展验证测试,其中超 10 款进入加仑样测试阶段。
这个公告的意义在哪里?此前国内少说也有四五家公司宣布 ArF 光刻胶开始出样给厂商,但他们很少提及这个光刻胶的具体技术水平,而鼎龙这个公告中加入了浸没式 ArF 这个说法,意味着这次的光刻胶技术水平是比较高水平的了。

光刻胶虽然是半导体制造中的核心材料之一,但不同产品技术水平差异很大,最先进的当属 EUV 光刻胶,国内还在科研攻关中,而 ArF 是目前主流的 DUV 光刻机(193nm 波长)所用的光刻胶。
但是 ArF 光刻胶是干式的还是浸没式的差别也很大,前者一般用于 28nm 之前的工艺,浸没式 ArF(有的缩写为 ArFi)则是 14nm 到 7nm 节点在用的,技术水平要更高一两个级别。
德邦这个 22 年发布的研报中还提到 ArF 光刻胶价格差不多要 1000 万元一吨,这两年各种涨价之下只会更高了,因此含金量还是很高的。
鼎龙这次公告宣布的浸没式 ArF 光刻胶供货国内两大头部晶圆厂(具体可以猜猜是谁)也算是一个重要突破了,在此之前国内只有南大光电去年宣布给国内晶圆厂出样过浸没式 ArF 光刻胶,其他厂商多是含糊提到 ArF 或者 KrF 光刻胶出样。
当然,更详细的技术细节是没有企业官方公告的,一方面是国内产业发展的保密需要,另一方面估计也没有哪家企业愿意透露具体指标,股民们要的就是这种模糊感才有的想象空间。



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