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中国电子院振动技术研究中心主任金春峰，在雄安纳米级微振动实验室控制室监测实验数据

在雄安新区先进电子制造产业布局中，全球首个纳米级微振动实验室是半导体赛道独一无二的标杆重器，也是新区落地、服务芯片高端制造的 " 全球唯一 " 核心科研平台，由国投集团中国电子院自主研发，2026   年   3   月正式投运于雄安启动区科学园片区的雄安创新研究院科技园。

中国电子工程设计院股份有限公司（CEEDI），业内简称中国电子院，1953   年成立，是我国电子工业工程技术开创者。

隶属国家开发投资集团（国投集团），手握工程设计综合甲级等   30   余项国家级顶级资质，拥有   9   位国家级设计大师、近千名高级工程师，设有博士后、院士专家工作站，是国内顶尖高科技产业综合设计院。国内超   60%   存储晶圆厂、半数芯片产线由其设计，位于湖北武汉的长江存储等国家级芯片基地均为其代表作；中国电子院独家掌握纳米级微振动控制、超高等级洁净室两大核心技术。芯片制造对环境精度要求极致，微小震动、粉尘都会造成晶圆报废，这两项技术是国产光刻机、精密设备国产化的关键配套支撑。

落户雄安的纳米级微振动实验室为何是半导体领域 " 全球首个 " 呢？它区别于国内外小型精密振动测试平台，这座实验室搭载全球尺寸最大、承载最强、精度最高的主动式微振动实验台：台面   4   米  × 4   米、自重   50   吨，最大承载   20   吨，可直接上架完整大型光刻机整机开展全工况测试，实现   1   纳米级振动控制精度，能隔绝车流、地基、气流等所有微弱扰动，模拟芯片工厂真实生产环境。

长期以来，我国先进制程光刻机、量测设备缺少大型整机地面验证平台，只能依赖海外实验室或上机试产，研发周期长、核心数据受制于人。雄安实验室填补了这项空白，成为全球唯一可对完整半导体高端装备做纳米级全场景振动评测的专业载体，这也是它作为半导体产业 " 首个全球 " 平台的核心价值。

7nm   及以下先进芯片制程，对设备微振动容忍度达到纳米级别，一丝微小震动就会直接降低光刻良率、损毁精密光学组件。实验室核心作用就是给国产光刻机、薄膜设备、检测设备做 " 整机振动体检 "：模拟厂房各类振动干扰，标定国产设备抗振极限，优化设备隔振结构；搭建自主可控微振动测试标准，摆脱海外隔振行业标准垄断，打造 " 雄安标准 "；面向全国半导体设备企业开放第三方检测，缩短国产装备定型周期，加速产业化落地。

除半导体外，平台同步支撑卫星载荷测试，形成 " 芯片 + 空天 " 双战略产业协同格局，夯实雄安高端精密制造产业根基。

国投集团党组书记、董事长付刚峰赴电子院雄安实验室调研

2026 年 5   月，国投集团高层实地调研电子院雄安实验室，明确围绕半导体产业四大攻坚路径：聚焦集成电路核心装备开展有组织科研；打通基础测试、工程验证、量产转化全链条；用 AI 赋能振动数据研发；集聚精密制造人才完善创新激励机制。

依托雄安新区政策、空间、产业资源优势，电子院雄安实验室将联动上下游设备厂商、高校科研院所，逐步形成集测试、标准、研发、产业化于一体的半导体配套生态。作为雄安半导体产业标志性全球首创平台，它以硬核底层测试能力，为我国芯片产业链自主安全筑牢关键屏障。

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