快科技 10 月 9 日消息，据 CNews 报道，俄罗斯已完成用于生产 130 纳米制程光刻机的第三阶段设计验收工作，该阶段验收证书已于 2026 年 8 月 7 日签署。

该 130nm 分辨率光刻机由 " 泽列诺格勒纳米技术中心 "（Zelenograd Nano Technology Center，ZNTC）与白俄罗斯 " 普拉纳尔 "（Planar）公司合作开发，主要用于将集成电路拓扑图形投影转移到直径 200 毫米（8 英寸）的半导体晶圆上，并在制造超大规模集成电路（VLSI）时进行多重投影复制，设计制程为 130 纳米。

在项目框架内，ZNTC 制造了两台波长为 193 纳米的准分子激光器原型，同时还制造了光掩模、测试结构、用于在工作波长上测量和控制光刻及像差特性的物镜测试台等，并完成了基础工艺调试。

按计划，ZNTC 应在 2026 年 3 月交付第三阶段，但实际推迟至 2026 年 8 月才交付。目前该装置已完成基础工艺调试。

最新验收证书还指出，这款俄罗斯自研的 130nm 制程光刻机具有 " 独特特征 "，因为它使用包括自主研发的 193 纳米准分子激光器在内的光源，以及其他国产零部件和国产半导体材料，达到了所需分辨率。

需要指出的是，ZNTC 在 2025 年初已完成首台分辨率为 350 纳米的光刻机生产，该设备已移交给 Element Group 旗下的 " 行业解决方案 " 公司。同时，ZNTC 还开发了设计规范为 150 纳米的电子束光刻设备。

根据曝光的文件，该装置的开发由白俄罗斯 " 普拉纳尔 " 公司负责（费用为 1.496 亿卢布）。除装置本身外，该公司还负责机械部件制造（费用为 1.95 亿卢布）、零件和原型调试（费用超过 1 亿卢布）。

激光器由 " 拉萨德 "（Lassard）公司开发，费用为 5 亿卢布。累计支付给 " 普拉纳尔 " 和 " 拉萨德 " 的费用略超过 10 亿卢布。

据科瓦廖夫称，ZNTC 在项目中负责装置整体开发、测试台和工艺台结构设计、物镜计算，以及工艺建模和开发。

光刻机本身的制造成本估计为 5.422 亿卢布（约 650 万美元），两个激光器成本分别为 4900 万卢布和 4600 万卢布。

对俄罗斯而言，130 纳米分辨率步进式光刻机原型完成研发并通过验收，显然是一项新突破，此前其不具备这类光刻机的生产能力。此前，全球能够生产此类光刻机的企业仅有荷兰 ASML、日本佳能和尼康、中国上海微电子。