编辑丨张伟贤
公开资料显示,上海微电子隶属上海电气集团,为中国半导体装备领域的核心企业,尤其在高端光刻机的研发与制造方面处于国内领先地位。今年 5 月,上海微电子已经官宣实现 90nm ArF 光刻机实现量产。

来源:中国政府采购网
公告透露多条信息
值得注意的是,该中标公示中的几个关键信息,引发了外界的热议。
首先,此次的货物型号为 SSC800/10,其中 "SSC" 为首次公开的光刻机型号代号。
代号中,"SS" 或代表 " 步进扫描式 ",为当前主流精密制程的半导体极紫外光(EUV)、深紫外光(DUV)光刻机的机械工作方案。目前上海微电子量产的光刻机,包括前道制造、浸没式光刻机 "SSA""SSX""SSB" 等系列。
从采购方式来看," 单一来源采购 " 或表示该项目的先进性。
根据《政府采购法》," 单一来源采购 " 的情况,仅被允许在因货物或服务使用了不可替代的专利、专有技术,或者公共服务项目有特殊要求,导致只能从某一特定供应商处采购;包括不可预见的紧急情况;保证原有项目一致性或服务配套;以及招标失败等情况。
值得注意的是,根据公示信息,此次采购主体 "zycgr22011903" 使用了保密代码,其一般为保密需求的特定机构、项目主体或采购批次的代称。
而从 "zycgr22011903" 过去一段时间的半导体相关开标情况来看,该主体在半导体领域分别招标了包括晶圆清洗机、椭偏仪、等离子体增强化学气相沉积 ( PECVD ) 、原子层刻蚀设备 ( ALE ) 、电子束光刻机中标公告。
从金额来看,上海微电子约 1.1 亿元的中标金额,与大量光刻机相关招标,总计百万或小千万级别的中标金额有较大差距。
另一方面,全球知名光刻机企业阿斯麦的光刻机整机价格,DUV 和 EUV 光刻机分别在 5 亿元人民币和 10 亿元人民币以上,价格仍然远高于上海微电子。
张江高科股价直线飙涨 7%
光刻机板块年内涨幅已超 76%
其他国内光刻机进展方面,今年以来,哈尔滨工业大学成功研发 13.5nm 极紫外光刻光源,中科院上海光机所的深紫外光源系统提升工艺极限至 3 纳米理论值。种种迹象显示,我国在光刻机领域正获得突破性进展。
而相关中标信息也迅速在资本市场掀起波澜,当天午后光刻机概念即异动拉升,张江高科直线拉升,5 分钟内一度飙涨超 7%,截至收盘涨近 5%,国风新材直线涨停,华软科技、华融化学、高盟新材等概念股也均有冲高表现。

截至今日收盘,张江高科市值近 660 亿元
值得注意的是,今年以来光刻机板块受到资金热烈追捧,年内涨幅已超 76%;其中,48 只概念股已有 13 股年内股价实现翻倍。

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