5 月 9 日，三大股指齐飘红，盘面上半导体设备股快速拉升，芯源微涨超 9%，华海清科涨逾 5%，拓荆科技、长川科技涨逾 3%，至纯科技、盛美上海、安集科技、有研新材、立昂微等股跟涨。

ETF 方面，聚焦上游产业链的半导体设备 ETF（561980）早盘快速走高，截至发文涨幅 1.21%，上行区间伴随溢价交易，资金做多热情较高。资料显示，该 ETF 标的指数行业分布上更侧重上游设备、材料等，其中 " 半导体设备 " 占比近 54%。

展望后市，德邦证券观点认为，国内晶圆厂加速扩产，前道制造设备公司订单、业绩有望持续增长；此外，随着行业下游需求复苏以及先进封装带动，封测厂扩产有望带动封测设备厂商业绩修复。

华西证券表示，整体来看，半导体设备国产化率不足 20%，仍处于相对低位，对于光刻、量 / 检测、涂胶显影、离子注入设备等领域，该机构预估国产化率仍低于 10%，国产替代背景下，看好本土设备国产化率快速提升。

半导体设备 ETF（561980）被动追踪中证半导体产业指数（简称中证半导），该指数主要聚焦 40 只半导体设备、材料等上游产业链公司，前十大成份股占比约 76%，指数集中度相对较高；行业分布上更侧重上游设备、材料等，其中 " 半导体设备 " 占比近 55%。从产业链角度看，上游的半导体设备和材料国产替代空间广阔，持续受到资本市场高度重视和国家产业政策的重点支持。