（全球 TMT2025 年 2 月 20 日讯）在 2025 年韩国半导体展览会上，Park Systems 推出了扩展版 FX 大型样品 AFM 系列产品，包括用于 300 毫米晶圆分析的 Park FX300，以及集成了红外（IR）光谱技术的 Park FX200 IR 和 FX300 IR。随着 300 毫米晶圆成为半导体行业标准，Park FX300 专为追求高精度分析但又不希望采用复杂全自动在线系统的用户设计，有望成为行业变革者。该系列还配备了多项专业功能，如滑动平台、旋转平台和离轴光学系统，以及风机过滤单元（FFU），非常适用于洁净室应用。

Park FX 大型样品 AFM 系列：从左至右依次为 FX200 IR、FX300、FX300 IR

Park Systems 推出的 FX200 IR 和 FX300 IR，将 AFM 技术扩展至纳米级化学分析领域。通过将傅里叶变换红外光谱（FTIR）与 AFM 相结合，实现了小于 5nm 的空间分辨率的化学识别，为半导体、高分子材料和生命科学领域的材料表征开辟了新的可能性。这些型号适用于从小尺寸样品到 200mm 或 300mm 晶圆的检测，能够实现高分辨率红外光谱成像，以无与伦比的精度提升了半导体缺陷分析、高分子研究和先进材料表征。FX 大型样品 AFM 系列通过自动化的探针识别与更换、二维码系统以及 AI 驱动的激光对准功能，提升了可用性，实现了流畅操作。StepScan 功能进一步提高了效率，使研究人员能够以最少的人工干预分析各种特性。