每经 AI 快讯，在 SEMICON China 2025 展会期间，中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称 " 中微公司 "，股票代码 "688012.SH"）宣布其自主研发的 12 英寸晶圆边缘刻蚀设备 Primo Halona ™正式发布。中微公司此款刻蚀设备的问世，实现了在等离子体刻蚀技术领域的又一次突破创新，标志着公司向关键工艺全面覆盖的目标再进一步，也为公司的高质量发展注入强劲动能。

每日经济新闻