来源:猎云网
近日,国产半导体液路超纯管路控制系统厂商海普瑞完成 B+ 轮融资,此轮投资方为京东方、合肥产投、超越摩尔及某一体化存储器制造公司。
在各界合作伙伴和战略股东的支持下,海普瑞将进一步推动技术创新和产业布局,加速打造国产半导体超纯管阀领军企业。
海普瑞成立于 2022 年 4 月,坐落于江苏省常州市高新技术产业开发区,是国内首家研发及生产半导体级 PVDF 和 PFA 超高纯阀门、管、接头、仪器仪表的公司,主营业务涵盖晶圆制造工艺中液体输送与控制系统,在半导体湿法制程中实现超纯水、电子级化学品的输送、循环和控制。
其产品广泛应用于晶圆厂超纯水系统、光刻胶、光刻机浸润系统、蚀刻、研磨、涂胶显影、化学机械抛光及清洗等领域。
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