(全球 TMT2025 年 6 月 17 日讯)半导体封装测试解决方案专业品牌蔚华科技推出业界首创 " 蔚华激光断层扫描(SpiroxLTS)" 技术,结合多项专利非线性光学组合技术,非破坏性、零接触、零损伤地直接观测 TGV(Through Glass Via)玻璃内激光改质断层图,可精准解析激光改质成效,完整揭示改质连贯性与均匀度,确保制程质量符合设计要求,为 TGV 制程参数控制带来革命性突破,将有助于 TGV 业者加速量产时程。
TGV 技术是先进封装关键工艺,具备低介电常数、优异热稳定性及高密度 I/O 整合能力,应用于玻璃芯(Glass Core)与 2.5D/3D 中介层(Interposer)等高阶封装结构,产业应用热度居高不下。但 TGV 前段制程中的激光改质质量长期无法实时掌握,成为良率与成本控制的挑战。SpiroxLTS 让玻璃内部激光改质层可视化,对开发高质量 Glass Core 产品极为关键,可直接取得非破坏性数据,将大幅缩短开发时程并提升改质均匀性掌控能力。
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