证券之星消息,根据天眼查 APP 数据显示晶盛机电(300316)新获得一项发明专利授权,专利名为 " 自动调整晶圆减薄厚度的控制方法和装置 ",专利申请号为 CN202510412586.0,授权日为 2025 年 6 月 24 日。
专利摘要:本申请提供一种自动调整晶圆减薄厚度的控制方法和装置,涉及半导体制造技术领域。该方法包括:获取在线 TTV 测量模块在晶圆减薄过程中所测量的初始 TTV 值;基于初始 TTV 值利用 TTV 补偿模型,得到修正后的 TTV 值;若修正后的 TTV 值未处于设定的规格内,通过预训练的预测模型确定 TTV 最优角度参数;控制晶圆减薄加工设备中的研磨盘角度调节至 TTV 最优角度参数,以作用于下一次晶圆的减薄厚度加工。该方法能够实现晶圆减薄过程的实时精确控制和持续优化,提升生产效率和产品质量。
今年以来晶盛机电新获得专利授权 63 个,较去年同期减少了 16%。结合公司 2024 年年报财务数据,2024 年公司在研发方面投入了 11.19 亿元,同比减 2.29%。
通过天眼查大数据分析,浙江晶盛机电股份有限公司共对外投资了 34 家企业,参与招投标项目 193 次;财产线索方面有商标信息 112 条,专利信息 1040 条,著作权信息 134 条;此外企业还拥有行政许可 36 个。
数据来源:天眼查 APP
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