快科技 6 月 30 日消息，在卫星激光通信中，光束控制精度关乎通信质量，快速反射镜犹如 " 精密心脏 "。

近日，中国科学院上海微系统与信息技术研究所研制出集成角度传感器的高性能 MEMS 快反镜，镜面尺寸大、封装体积小，性能优良，在激光卫星通信方面潜力巨大。

该快反镜历经近五年才研制成功，采用双层异构集成与晶圆级键合工艺，体积仅一枚 1 元硬币大小。

封装后的 MEMS 快反镜

它攻克传统机械快反镜和原有 MEMS 快反镜的技术瓶颈，打造出航天级产品，指向精度达 μ rad 量级，满足星载应用的超高性能指标。

受手机屏幕启发，团队利用硅压阻应变原理集成片上角度传感器，通过结构创新使灵敏度提升 63%，优化光束控制精确性。

测试结果表明，在特定频率下，角度精度达标，最大动态表面形变仅 2 纳米。

官方打了一个比方，这就相当于在足球场大小的镜面上，所有起伏不超过一根头发丝的直径，满足远距离卫星激光通信对镜面面型的严苛要求。