年入 10 亿，干式真空泵累计出货超 4 万台。

作者 |  ZeR0

编辑 |  漠影

芯东西 7 月 7 日报道，6 月 30 日，国内领先的半导体制造设备核心部件提供商及真空科学仪器设备供应商中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司（简称 " 中科仪 "）北交所 IPO 申请获受理。

中科仪有限公司成立于 2001 年 4 月，股份公司成立于 2011 年 12 月，注册地址在沈阳市，注册资本为 1.72 亿元，被评为 2020 年度、2023 年度国家 " 专精特新 " 小巨人企业。

其法定代表人为中科仪董事长郭东民，控股股东是国科科仪控股有限公司，实际控制人是中国科学院控股有限公司。

作为中国科学院下属专注于洁净真空、超高真空技术研究和发展的企业，中科仪是我国真空技术及真空类科学仪器攻坚的主力军，是集成电路领域出货量最大的国产干式真空泵制造企业，也是唯一在集成电路先进制程实现批量应用的国产企业，以及唯一在清洁、中等、苛刻工艺均实现批量应用的国产企业，有效保障了我国集成电路制造设备关键零部件的自主可控和供应链安全。

中科仪的主要产品包括用于集成电路晶圆制造及光伏电池等泛半导体产品制造的干式真空泵，以及面向国家重大科技基础设施和科研领域的真空科学仪器设备。

截至目前，中科仪各类干式真空泵的出货量已累计超过4 万台，其中集成电路领域出货量超2.5 万台。

根据市场预计数据测算，2024 年中科仪干式真空泵在集成电路领域国内市占率约为12.72%，打破欧美及日本企业在国内市场的长期垄断。国内主要同行业企业尚处于小批量导入阶段。

其集成电路企业客户数量已超过 100 家，包括中芯国际、华虹集团、长江存储、长鑫存储、晶合集成、华润微、上海积塔、广州粤芯、青岛芯恩等国内主流晶圆厂，以及北方华创、拓荆科技、中微公司等国内领先半导体设备制造企业，且产品已通过台积电、大连 Intel、SK 海力士的测试验证实现小批量出货。

截至 2024 年末，中科仪分别持有拓荆科技 1.54% 股份、中科信息 0.80% 股份，公允价值合计 7.35 亿元，占中科仪期末资产总额的比例为 25.20%。

中科仪于 2014 年 7 月 16 日在全国中小企业股份转让系统（新三板）挂牌上市，2020 年曾向上交所提交了科创板 IPO 申请，但随后在 2021 年 5 月主动撤回。目前中科仪最新市值为 74 亿元。

本次 IPO，中科仪拟募资8.25 亿元，用于干式真空泵产业化建设、高端半导体设备扩产及研发中心建设、新一代干式真空泵及大抽速干式螺杆泵研发项目。

01.

年收入超 10 亿，

持股拓荆科技、中科信息

真空泵是半导体制造的关键部件。集成电路产业15 个主要工艺环节中的 11 个需要使用真空泵实现真空环境的获得，占比超过 70%。

随着集成电路制程逐渐向先进工艺演进，制造的精细度和复杂度显著提升，对洁净真空环境的要求也更加苛刻，越来越多的工序需要移入真空环境中进行，且每道工序所需要的真空泵的数量和技术要求越来越高。

例如当先进工艺演进到 7nm 时，必须使用 EUV 光刻技术，与传统光刻技术不同的是，EUV 光刻技术必须在真空环境中才能实现。

作为中国科学院下属专注于洁净真空、超高真空技术研究和发展的单位，中科仪前身自 1958 年成立以来一直围绕国家科技创新需求，承担多项重大科研项目，开展真空技术研发，是真空类科学仪器设备攻坚的主力军。

在此基础上，中科仪持续将研发成果转化为产业应用，提升干式真空泵的国产化水平和应用规模，逐渐成为中国半导体和泛半导体领域的核心零部件提供商。

▲中科仪主营业务演变情况

2022 年、2023 年、2024 年，中科仪的营收分别为 6.98 亿元、8.52 亿元、10.82 亿元，净利润分别为 4.98 亿元、6.00 亿元、1.93 亿元，研发费用分别为 0.60 亿元、0.85 亿元、1.10 亿元。

▲ 2022 年 ~2024 年中科仪营收、净利润、研发支出变化（芯东西制图）

其净利润波动较大，主要原因是截至 2024 年末，中科仪分别持有 A 股上市公司拓荆科技 1.54% 股份、中科信息 0.80% 股份。报告期内各期，中科仪因持有这些上市公司股份产生的公允价值变动损益和出售股份产生的投资收益合计分别为 4.62 亿元、5.46 亿元、0.08 亿元，均计入非经常性损益。

中科仪归属于母公司所有者的扣除非经常性损益后的净利润由 2022 年的 6186.11 万元增至 2024 年的 8787.75 万元，复合增长率为 19.19%。

2022 年、2023 年、2024 年，中科仪的综合毛利率分别为 32.60%、33.02%、29.44%，低于同行业上市公司，主要原因是拓荆科技、华海清科、北方华创、中微公司均从事半导体核心设备的研发生产和销售，议价能力相较中科仪更强，产品毛利率相对较高；与中科仪产品在半导体产线应用场景较为相像的上市公司为京仪装备，毛利率无显著差异。

按产品及服务类别区分，干式真空泵是中科仪的第一大收入支柱，过去三年收入占比逐年增长。

2024 年，其超过 84% 的收入来自集成电路应用领域。

中科仪自主研发形成了 8 大核心技术。截至 2024 年末，该公司共有 158 名研发人员，占员工总数的 16.83%；拥有发明专利 99 项，取得软件著作权登记 30 项，负责或作为主要参与方起草了 13 项真空技术相关的国家、行业及团体标准。

02.

研制 3 大系列近 40 款干式真空泵，

大客户包括长江存储、中芯国际  

2022~2024 年，中科仪干式真空泵的销量超过 2 万台。

干式真空泵是半导体和泛半导体领域主流用泵。中科仪的干式真空泵产品主要为罗茨干泵，研制的3 大系列近 40 款型号干式真空泵产品已实现大批量应用，可适配 ASML、KLA、LAM Research、AMAT、TEL、HITACHI、北方华创、中微公司、拓荆科技、东方晶源等30 余家国内外主流设备厂商的数百种机台，全面满足市场多样化需求。

半导体苛刻工艺制程工况复杂，对干式真空泵的要求极高。中科仪率先研制出用于苛刻工艺制程的产品，打破国外厂商的长期垄断，其干式真空泵产品满足14nm 先进逻辑芯片以及128 层及以上 3D NAND等存储器工艺的生产需要，已在中国各领先晶圆制造企业实现大批量应用。

除硅基半导体外，其干式真空泵产品也可广泛应用于碳化硅、砷化镓等化合物半导体的制备，并已实现批量交付。

2022 年、2023 年、2024 年，中科仪向前五名客户的销售金额分别占当期营收的 42.11%、41.84%、44.06%，不存在向单个客户的销售比例超过总额 50% 的情形，也不存在严重依赖于少数客户的情形。

过去三年，其大客户包括长江存储、隆基绿能、中芯国际、青岛芯恩、中科院高能物理研究所、上海积塔半导体、长鑫科技、北方华创等。

中科仪持股 5% 以上的股东国家集成电路基金，直接持有上述主要客户权益情况如下：

同期，中科仪向前五名供应商的采购金额分别占当期总采购额的 35.97%、30.33%、34.83%，不存在向单个供应商的采购比例超过总额 50% 的情形，也不存在严重依赖于少数供应商的情形。

报告期内，中科仪控股股东、实际控制人、董事、监事、高级管理人员以及持股 5% 以上的股东与上述供应商不存在关联关系，亦不存在占有上述供应商权益的情形。

03.

背靠中科院，

国家大基金为第二大股东

截至招股书签署日，国科科仪占中科仪股份总数 35.21%，是中科仪的控股股东。

中国科学院控股有限公司（简称 " 国科控股 "）持有国科科仪 100% 股权，通过国科科仪控制中科仪 35.21% 股份，是中科仪的实际控制人。中国科学院持有国科控股 100% 股权。

持有中科仪 5% 以上股份的股东还包括：国家集成电路基金，持股 19.73%；浑璞五期，持股 5.01%。

▲本次发行前中科仪前十名股东情况

截至 2025 年 6 月 9 日，中科仪董事、监事、高级管理人员及其近亲属持股情况及该等股份截至招股书签署日的限售情况如下：

其核心技术人员持有中科仪的股份情况如下：

04.

结语：国外企业仍有先发优势，

真空泵面临市场竞争加剧风险

国外领先真空泵企业成立时间较早、业务规模较大、产品布局完备，并已在多个应用领域实现规模化应用。Edwards、Ebara 等国际领先厂商在真空技术领域拥有数十年的研发、制造经验，积累了大量产品设计和技术工艺。这些厂商已在国内外主要设备厂或晶圆厂中实现导入，具有先发优势。

目前中科仪的干式真空泵在集成电路应用领域中，在国产厂商中处于绝对领先地位。虽然近年来受国家重大科技专项等政策支持，以中科仪为代表的国内企业实现了在集成电路制造领域的技术突破和产业化，但由于我国相关产业起步较晚、规模有限、产业基础相对薄弱，与国外知名的竞争对手相比在品牌知名度、产品批量应用规模等方面均存在一定劣势。

此外，规模较大的晶圆厂在选择零部件供应商时，通常会优先考虑真空泵已在其产线中批量应用，或真空泵已成功应用至其他领先晶圆厂产线中的供应商。

报告期内，中科仪销售的干式真空泵主要应用于集成电路、光伏领域。而国际领先厂商的产品类型丰富，下游应用覆盖半导体、泛半导体、工业制造、生物医药等多个领域。相比之下，中科仪的产品覆盖领域有限，仍需进一步拓展，并面临市场竞争加剧的风险。

芯圈 IPO

深度追踪国内半导体企业 IPO；在国产替代的东风下，一批优秀的国内半导体公司正奔赴资本市场借势发展。

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