钛媒体 App 8 月 14 日消息,近日,作为基地首批签约孵化项目之一,全国首台国产商业电子束光刻机 " 羲之 " 已进入应用测试,其精度比肩国际主流设备,标志着量子芯片研发从此有了 " 中国刻刀 "。在测试现场,浙大余杭量子研究院相关团队紧张忙碌着,一台模样酷似大型钢柜的机器正在做应用测试,电子显示屏上不断闪烁着实时参数。" 这不是普通的机器,而是一支能在头发丝上雕刻出整座城市地图的‘纳米神笔’!" 团队负责人表示,依托省重点实验室,这台研究院自主研发的新一代 100kV 电子束光刻机 " 羲之 " 已正式投入市场。(杭州日报)
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