快科技 9 月 29 日消息，半导体工艺越先进，对光刻机的需求就越高，5nm 以下量产更少不了 EUV 光刻机，目前全球只有 ASML 公司能供应，台积电、三星、Intel 等公司都会向他们下降。

那么这些巨头中谁拥有的 EUV 光刻机最多呢？调研机构 BOFA 公布了 2021 到 2025 年为止的 EUV 光刻机数量，如下所示：

作为全球最大同时先进工艺量产最多的晶圆代工厂，台积电这几年来购买的 EUV 光刻机数量是最多的，除了 24 年只有 10 台之外，平均每年都在 25 台左右，累积下来已经超过 107 台，是唯一一家数量过百的。

三星从 7nm 时代就号称首发量产 EUV 工艺，所以购买量也不低，除了今年只有 3 台，以往每年在 10-15 台，累积下来 55 台，位列第二。

三星不仅在逻辑工艺上使用 EUV 光刻机，内存芯片上也逐渐用上 EUV 光刻机，这也是关键因素。

SK 海力士之前三年订购的 EUV 都很少，这两年爆发了一波，总计有 26 台。

Intel 公司之前对 EUV 不慎积极，但在 Intel 4 工艺之后也开始应用 EUV 光刻工艺，前任 CEO 基辛格搞的 IDM 2.0 甚至加大了对下一代 High NA EUV 光刻机的购买，全球第一个下单出货，但现在的陈立武叫停了不少工厂建设，今年 EUV 采购量还是 0。

累积下来这几年购买了 25 台 EUV 光刻机，比 SK 海力士还少 1 台。

美光公司因为主要生产内存和闪存芯片，而且对之前也用不到 EUV 工艺，今年才买了 5 台，总量就是这么多了。

这里面还有一家公司值得注意，那就是日本 Rapidus，他们成立才 2 年时间，但野心很大，目标是 2027 年量产 2nm 工艺，所以也早早下单了 EUV 光刻机用于研发，今年就展示过 2nm 工艺的晶圆，技术进展值得关注。

如果他们的目标实现了，未来 Rapidus 公司对 EUV 光刻机的需求量也不少。