日本是我国第一大设备进口来源国，据海关总署统计，2024 年我国半导体设备进口总额 470.66 亿美元，从日本进口额 143.00 亿美元，占比 30.4%。2025 年 1-6 月份，日本进口额为 63.99 亿美元，同比下降 2.9%，6 月份进口额为 11.58 亿美元，同比上升 9.5%，环比增长 35.8%。

爱集微将通过数据详细解读我国半导体设备从日本进口情况，发布《中国半导体海关进出口数据 - 日本设备进口额》。

按年度进口情况 占比稳居第一

据统计，2017-2024 年，日本一直是我国半导体设备的最大进口来源国，平均占比约 32%，其中 2017 年占比稍高，近四年略有降低，占比 30% 左右。从进口额来看，2019 年 -2024 年基本呈增长趋势，复合增长率 6.4%，2022 年有所降低，同比下降 16.9%。

按季度进口情况 每年 Q4 进口额较高

2025 年第二季度，中国半导体设备日本进口额为 33.31 亿美元，环比增长 8.6%，同比增长 2.1%。从 2020 年 Q1-2025 年 Q2 的进口数据来看，每年第四季度的进口额在当年占比较高，从过往来看，2025 年第三季度进口额可能会略有下降。

分类别进口情况 等离子干法刻蚀机环比增长超 100%

2025 年 1-6 月，半导体设备进口量前五的商品（除了其他类）是 " 其他制半导体器件或集成电路用的机器及装置 "" 制造半导体器件或 IC 的等离子体干法刻蚀机 "" 制造半导体器件或 IC 的其他刻蚀及剥离设备 "" 制造半导体器件或 IC 的化学气相沉积装置 " 和 " 制半导体器件或 IC 的氧化扩散等热处理设备 "，其中等离子体干法刻蚀机、其他刻蚀及剥离设备、化学气相沉积装置同比增长。

6 月份，上述五种商品中，" 制造半导体器件或 IC 的等离子体干法刻蚀机 " 和 " 制造半导体器件或 IC 的其他刻蚀及剥离设备 " 环比上升，其中等离子体干法刻蚀机环比增长超过 100%。

另外，按国内分注册地进口情况看，2025 年 1-6 月半导体设备进口量前五的是广东省（15.94 亿美元）、上海市（11.63 亿美元）、安徽省（6.91 亿美元）、北京市（5.86 亿美元）和江苏省（5.44 亿美元），占比分别是 24.9%、18.2%、10.8%、9.2% 和 8.5%。

A 股上市公司半导体设备行业经营情况

另外，据集微咨询统计，2025 年上半年，设备行业 A 股上市公司总收入约为 499.95 亿元，同比增长 30.9%；净利润约为 74.17 亿元，同比增长 15.1%；毛利率平均值约为 43.5%。

从营收表现来看，营业总收入前三的企业分别是北方华创、晶盛机电和中微公司。营收同比增长较大企业有万业企业、金海通和拓荆科技；晶盛机电、赛腾股份同比下降。

从净利润表现上来看，净利润排名前三的是北方华创、盛美上海和中微公司，净利润亏损的有万业企业和中科飞测。

从毛利率来看，前三的企业是华峰测控、光力科技和联动科技。