证券之星 10-29
长川科技获得发明专利授权:“对准装置、晶圆检测系统以及晶圆对准方法”
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证券之星消息,根据天眼查 APP 数据显示长川科技(300604)新获得一项发明专利授权,专利名为 " 对准装置、晶圆检测系统以及晶圆对准方法 ",专利申请号为 CN202310581063.X,授权日为 2025 年 10 月 28 日。

专利摘要:本申请涉及半导体检测技术领域,提供了一种对准装置、晶圆检测系统以及晶圆对准方法。该对准装置包括吸附动力源和吸附平台;吸附动力源具有互相独立设置的第一气路和第二气路;吸附平台能够绕第一轴线转动;吸附平台构造有第一吸附区和第二吸附区,第一吸附区与第一气路连通,第二吸附区与第二气路连通;第一吸附区设置有多个,并间隔分设于第二吸附区的外侧。如此,即可提高对晶圆的吸附固定效果,提高吸附稳定性,当吸附平台在外力作用下切换于转动与停止之间时,确保晶圆不会轻易发生偏移,提高晶圆的对准精度,从而提升制造良率。

今年以来长川科技新获得专利授权 191 个,较去年同期增加了 17.18%。结合公司 2025 年中报财务数据,今年上半年公司在研发方面投入了 4.73 亿元,同比增 18.2%。

通过天眼查大数据分析,杭州长川科技股份有限公司共对外投资了 16 家企业,参与招投标项目 115 次;财产线索方面有商标信息 25 条,专利信息 1143 条,著作权信息 75 条;此外企业还拥有行政许可 79 个。

数据来源:天眼查 APP

以上内容为证券之星据公开信息整理,由 AI 算法生成(网信算备 310104345710301240019 号),不构成投资建议。

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