《科创板日报》11 月 5 日讯(记者 郭辉)11 月 4 日,西北地区首条 8 英寸硅光中试线正式通线。
《科创板日报》记者了解到,该平台由陕西光电子先导院建设,此次通线不仅填补了区域硅光芯片中试领域空白,更成为陕西 " 追光计划 " 实施以来的标志性成果,将作为陕西打造千亿级光子产业集群的核心支点,撬动当地光子产业发展从蓝图迈向实践。
与此同时,陕西光子科技实验室也在今年 8 月顺利通过现场评估及专家论证,正式进入培育建设期。据中国科学院西安光机所副所长付玉喜在活动当中透露,该实验室目标两年内攻克超 30 项光子领域关键核心技术,助推陕西全省光子产业产值在 2027 年突破 500 亿元。
自 2021 年陕西 " 追光计划 " 启动以来,陕西全省光子产业实现显著成长,行业企业数量攀升至 370 多家,产业规模从 150 亿元跃升至 365 亿元,初步构建起 " 材料—芯片—器件—系统 " 的完整产业链条。
陕西是我国近年来硅光产业发展的重要一极,实际上自今年以来,包括湖北、上海、重庆等多地,硅光产业发展均迎来重要发展节点。
总投资 7.5 亿 西北地区首条 8 英寸硅光中试线
"8 英寸硅光平台的通线,彻底补全了陕西在硅光芯片中试领域的短板 "。陕西光电子先导院总经理杨军红表示,作为陕西 " 追光计划 " 的核心支撑平台,光电子先导院已累计投入约 15 亿元构建 "6 英寸化合物芯片 +8 英寸硅光芯片 " 双中试平台。
据了解,光子技术产业界主要沿着化合物半导体和硅光技术两条技术路径协同演进,二者在材料特性、应用场景和产业生态上形成互补,共同推动光电子产业向高性能、高集成度、低功耗方向发展。
此前陕西光电子先导院的 6 英寸化合物中试平台,至今服务了超过 50 家企业。此次 8 英寸硅光平台通线,将与西安科学园的先进阿秒激光设施、光子传感园的产业化载体形成联动,为 " 追光计划 " 培育千亿级集群提供从基础研究、中试验证到量产落地的全链条支撑。
据介绍,光电子先导院的 8 英寸硅光平台总投资 7.5 亿元,引进了比利时 IMEC"130nm 硅光芯片工艺包 ",并引入光刻、刻蚀等 60 余台(套)关键核心设备,在 130nm 有源集成硅光主工艺平台基础上,能够开发 90nm 以上先进工艺。
硅光技术作为 AI 算力、智能驾驶、量子通信等前沿领域的核心支撑,正处于技术突破与应用落地的关键期,但其产业发展长期受限于中试资源集中的困境。
据 Yole 数据,约 80% 的光子技术停留在实验室阶段,无法实现量产,核心原因在于 " 工艺不稳定、成本不可控、可靠性不达标 "。对国内产业而言这一 " 堵点 " 矛盾更加突出。
杨军红介绍称,全球硅光中试资源多掌握在欧美企业手中,国内企业依托国外平台流片需支付高昂费用,且面临流片周期长、产能优先供给受限等问题,而自建产线则需巨额设备投入。
中试平台集 " 工艺开发、原型试制、性能测试、可靠性验证、成本核算 " 于一体,将极大便利企业技术从实验室到产业落地的进程,降低企业研发及运营成本。
杨军红接受《科创板日报》记者采访时表示,目前陕西光电子先导院平均流片周期只有两周到一个月左右的时间,快于量产线以及国内同类的中试线。
在陕西省 8 英寸先进硅光集成技术平台通线后,《科创板日报》记者了解到,由陕西光电子先导院牵头的异质集成工艺平台,也即将于 2026 年完成硬件建设,而异构集成工艺平台则计划将于 2028 年完成硬件建设。
" 异质 + 异构 " 的工艺平台建设,将进一步扩宽不同功能光芯片的生产能力,服务更多优质创新企业。与此同时,也将帮助陕西省在全国多地的硅光产业发展中,形成差异化的技术能力。
年内多地硅光产业迎来发展关键节点
今年国内多地硅光产业发展迎来关键节点。
在上海,上海硅光未来产业集聚区 " 光启天地 " 在浦东新区正式启动建设,将搭建硅光概念验证平台,培育产业创新生态,加速硅光规模化应用。
据介绍,该平台基于 "8 吋 + 12 吋 " 硅光流片平台开展芯片流片设计服务,可提供定制化服务和 IP 授权,还搭建了 EDA 仿真验平台,打造一站式硅光测试验证体系。上海硅基光电子概念验证平台具有技术验证、市场验证和协同孵化三大功能。在技术验证方面,平台将建立开放的硅光芯片制造和测试技术体系,全方位支持硅光创新技术的开发、迭代和成熟,
硅光已被列为上海 11 个重点未来产业之一。在今年 10 月上海市政府印发的《关于加快推动前沿技术创新与未来产业培育的若干措施》,目标到 2027 年,上海将力争突破一批前沿颠覆性技术,同时要加快培育硅光、6G、第四代半导体、类脑智能等领域,重点支持优化产品设计、拓展应用场景、验证市场价值。
今年 9 月,武汉国家信息光电子创新中心宣布成功发布首套全国产化 12 寸硅光全流程套件,将能够帮助相关上下游企业实现 " 设计即测试、测试完成即封装 ",大幅缩短研发周期,降低制造成本,相应套件性能达到量产要求。据介绍,目前国内已有超 40 家企业、高校、机构与该中心沟通合作,其中十余家进入实质性合作阶段。
按照湖北省政府在 2023 年发布的关于印发加快 " 世界光谷 " 建设行动计划,在 2025 年完成 12 英寸基础硅光流片工艺开发,形成国际领先的硅光晶圆代工和生产制造能力后,到 2030 年,目标进一步打造 12 英寸硅基光电融合工艺线,建成全球前三的硅光芯片特色工艺线。
在 2024 年,湖北省光谷光电子信息产业规模已突破 6000 亿元。
在重庆,位于重庆数智产业园的光电子集成高端硅基晶圆制造中心项目在今年 4 月封顶。该项目由光域科技公司投资建设,总投资 8.5 亿元,设计月产能为 3500 片高端硅基晶圆,预计 2025 年底投产,将极大突破光域科技产能瓶颈,对缩短新产品研发周期、提高产品利润率及加速产业链上下游协调等方面均具有重要意义,同时也将为成渝地区双城经济圈建设注入强劲科技动能。项目达产后,预计带动上下游配套企业集聚形成百亿级产业生态圈。
陕西省目前已形成光子材料与芯片、先进激光与光子制造、光子传感三大核心产业集群,聚集 379 家光子领域硬科技企业,总产值超过 350 亿元。
" 光子产业处于创新式加速发展的前期,中国的硅光市场也足够大,各地的光子产业结合当地经济结构均有自身特色,因此目前处于协同并进的成长进程当中。" 陕西光电子先导院总经理杨军红表示,陕西光子产业发展的突出模式,一是有围绕产业进行创新培育的完善基金矩阵,二是以光电子先导院为链主、纽带,推动光子产业链上中下游协同发展、融通创新。
据了解,光电子先导院由中国科学院西安光机所联合陕西省科技厅、西安市高新技术开发区、西科控股、中科创星共同发起成立,创新性地提出并打造了 " 公共平台 + 专项基金 + 专业服务 " 的光电子芯片创新服务生态。
陕西省今年新成立的科创母基金,也进一步聚焦硅光产业。今年 7 月,陕西秦创原公司揭牌,首期 100 亿元规模的省级科创母基金、首期 300 亿元基金矩阵发布,标志着陕西科技金融赋能 " 三项改革 " 全面启动。其中的直投基金将聚焦光子强链、集成电路、高端设备等领域。据介绍,秦创原公司目标到 2027 年底,形成千亿级科创基金矩阵,提供千亿级金融产品供给,培育千亿级战新产业集群。


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