【ASML 展示首款先进封装大视场光刻机】《科创板日报》7 日讯，在第八届进博会上，半导体设备供应商 ASML 展示其部分全景光刻产品与技术。其中，DUV 光刻机包括 TWINSCAN XT:260、TWINSCAN NXT:870B。《科创板日报》记者获悉，TWINSCAN XT:260 这款 i-line 光刻机是 ASML 首款可服务于先进封装领域的光刻系统，具有大视场曝光，相较于现有机型可提高 4 倍生产效率；TWINSCAN NXT:870B 在升级的光学器件和最新一代磁悬浮平台的支持下，可实现每小时晶圆产量（wph）400 片以上。（记者 陈俊清）