【ASML 中国区总裁沈波：DUV 仍是芯片成像主力】《科创板日报》7 日讯，ASML 全球执行副总裁、中国区总裁沈波在接受《科创板日报》记者采访时表示，尽管 EUV 已成为多数逻辑和存储关键层的光刻技术标准，但 DUV 仍是芯片成像主力。" 从整个产业发展的角度，即使到 2030 年全球每年晶圆数曝光将超过 9 亿次时，EUV 的占比依然会很小，绝大部分的芯片还是由 DUV 来生产。芯片市场里面的一小部分是通过 EUV 生产，绝大部分还是靠 DUV 生产。"（记者 黄心怡）