24 款自研产品实现千万级收入。

作者 |  ZeR0

编辑 |  漠影

芯东西 11 月 14 日报道，刚刚，广东深圳半导体设备核心零部件供应商恒运昌通过上市委会议审议，向科创板 IPO 又迈出关键一步。

恒运昌成立于 2013 年 3 月，是国产等离子体射频电源系统行业龙头企业、国内极少数实现半导体级等离子体射频电源系统量产的企业，获评国家专精特新重点 " 小巨人 " 企业。

等离子体射频电源系统是半导体设备零部件国产化最难环节之一，是半导体制程工艺中薄膜沉积、刻蚀、离子注入、清洗去胶及键合等工艺控制的关键，直接决定设备工艺能力、产品良率。

根据弗若斯特沙利文统计，2024 年，中国大陆半导体领域等离子体射频电源系统的国产化率不足12%，恒运昌在国产等离子体射频电源系统厂商中的市场份额位列第一。

历经十年，恒运昌先后推出 CSL、Bestda、Aspen 三代产品系列等离子体射频电源系统，成功打破了美系两大巨头 MKS 和 AE 在国内长达数十年的垄断格局。其量产产品已达国际龙头企业的次新一代同等技术水平，可以支持7-14nm制程。

在国内半导体领域，恒运昌是首家出货过亿元和首家实现等离子体射频电源系统（支持半导体先进制程）量产的国产厂商。

其产品系列不断通过拓荆科技、中微公司、北方华创、微导纳米等国内半导体设备头部厂商的验证并实现批量交付，并配套中芯国际、长江存储等国内晶圆厂。

该公司最近一次市场化融资完成于 2023 年 12 月，投后估值为32.92 亿元。

值得一提的是，国产薄膜沉积设备龙头拓荆科技不仅是恒运昌的第一大客户，也是其第七大股东，直接持股 3.09%，同时拓荆科技全资子公司上海岩泉持股 0.33%。

本次 IPO，恒运昌拟使用募资投入金额 14.69 亿元，投资于沈阳半导体射频电源系统产业化建设项目、半导体与真空装备核心零部件智能生产运营基地项目、研发与前沿技术创新中心项目、营销及技术支持中心项目及补充流动资金。

01.

产品可支撑 7-14nm 先进制程，

达国际先进水平

等离子体射频电源系统是半导体设备零部件国产化最难关卡之一，技术壁垒高、研发投入大、研发周期长、生产的 " 精确复制 " 要求极高，国产化率极低。

恒运昌主要从事等离子体射频电源系统、等离子体激发装置、等离子体直流电源、各种配件的研发、生产、销售及技术服务，并引进真空获得和流体控制等相关的核心零部件，围绕等离子体工艺提供核心零部件整体解决方案。

如果把芯片制造比喻成版画艺术品的高科技复刻，那么产生及控制等离子体的等离子体射频电源系统就是这场高科技复刻的 " 指挥家 "。

等离子体射频电源系统通过精确控制电流频率和功率，指挥着半导体制造过程中的等离子体变化，确保在晶圆表面精确、均匀地沉积出薄膜层、精细地刻蚀出复杂图形和去除光刻胶等。

由于具有独特的光、热、电物理特性以及高活性、高能量的特点，等离子体为半导体精密制造提供了不可替代的工艺基础。

如今等离子体工艺广泛应用于薄膜沉积、刻蚀、离子注入、清洗去胶、键合等芯片制造的重要环节，并随着先进封装技术的发展应用于更多工艺环节中。

恒运昌聚焦于等离子体射频电源系统的技术攻关，在 2021 年向中芯国际交付 Bestda 等离子体射频电源，实现了国内首颗刻蚀设备用射频电源的原位替换；2022 年，其 Aspen 系列等离子体射频电源和 Basalt 系列匹配器在中芯国际晶圆产线上替代了 CVD（化学气相沉积）工艺设备中的海外等离子体射频电源及匹配器产品。

2023 年，其最新一代 Aspen 系列等离子体射频电源和 Basalt 系列匹配器已经随拓荆科技新一代 P 系列薄膜沉积设备、中微公司新一代 N 系列刻蚀设备交付国内头部晶圆厂，目前已进入晶圆生产的正式验证。

恒运昌自主研发的第二代产品 Bestda 系列可支撑28nm制程，第三代产品 Aspen 系列可支撑7-14nm先进制程，达到国际先进水平，填补国内空白。

其核心技术包括两方面：1）从测量、控制、架构三方面构建的底层通用的 3 大基石技术；2）基于 3 项基石技术，结合半导体设备中的应用，特别是先进制程中更快速、更精准、更稳定的应用诉求和实现难点，发展出 8 大产品化支撑技术。

截至 2025 年 6 月 30 日，恒运昌共有研发人员 158 名，占全部员工比例为 42.13%。截至报告期末，该公司拥有已授权发明专利 108 项，在申请发明专利 133 项。

02.

去年收入为 5.41 亿元，

净利润达 1.42 亿元  

2022 年、2023 年、2024 年、2025 年 1-6 月，恒运昌营收分别为 1.58 亿元、3.25 亿元、5.41 亿元、3.04 亿元，净利润分别为 0.26 亿元、0.80 亿元、1.42 亿元、0.69 亿元，研发费用分别为 0.22 亿元、0.37 亿元、0.55 亿元、0.43 亿元。

▲ 2022 年 ~2025 年 1-6 月恒运昌营收、净利润、研发支出变化（芯东西制图）

根据招股书，其 2025 年 1-6 月收入较上年同期上升而净利润下降，主要因为在 2025 年上半年加大研发投入。

自研产品占恒运昌整体收入的比例逐年增长，2025 年上半年达到 84.81%。

报告期各期，恒运昌三代等离子体射频电源和匹配器销售收入占比情况如下：

同期，该公司主营业务毛利率为 41.49%、45.86%、48.51%、49.01%，与 MKS 较为接近。

截至 2025 年 6 月末，恒运昌在手订单金额为 1.07 亿元，较 2024 年末下滑 22.13%。

03.

已量产交付国内头部半导体设备商，

24 款自研产品实现千万级收入

报告期内，恒运昌产能已于最近三年及一期超负荷运行，产能利用率分别达到 121.34%、102.12%、111.24%、106.35%。

其产品已量产交付拓荆科技、中微公司、北方华创、微导纳米、盛美上海等国内头部半导体设备商，并配套中芯国际、长江存储等国内晶圆厂，成为薄膜沉积、刻蚀环节国内头部设备商的战略级供应商。

截至 2025 年 6 月 30 日，恒运昌与上述客户已实现百万级收入的自研产品共38 款，实现千万级收入的自研产品共24 款。

等离子体射频电源系统作为半导体设备的核心零部件，需要得到设备商及晶圆厂的双重认证，设备定型通过晶圆厂验证后，不再轻易更换供应商；同时，半导体设备商为保证核心零部件的安全供应，选择与头部等离子体射频电源系统供应商长期合作。

2022 年、2023 年、2024 年、2025 年 1-6 月，前五大客户产生的收入占恒运昌主营业务收入的比例分别为 73.54%、80.39%、90.62%、89.37%，其中向第一大客户拓荆科技的销售收入占比分别为 45.23%、58.16%、63.13%、62.06%，客户集中度较高。

恒运昌自 2018 年开始与国产薄膜沉积设备龙头拓荆科技开展多款 PECVD 设备所需等离子体射频电源系统的国产化开发及验证工作，2020 年获得批量订单，供货规模逐步起量。报告期内，该公司已稳定批量供应拓荆科技 PECVD 设备，是拓荆科技 2024 年度第一大等离子体射频电源系统供应商、前十大零部件供应商。

其 2024 年对中微公司、北方华创、微导纳米已实现收入 4288.56 万元、2813.65 万元、2306.19 万元，相比 2023 年分别翻 7 倍、25 倍、3 倍，同比大幅增长。

除已定型并批量供应的产品外，目前恒运昌正在为中微公司、微导纳米、北方华创、盛美上海的多种机型开发多款等离子体射频电源及匹配器，并且为中芯国际等晶圆厂开发多款原位替换等离子体射频电源及匹配器。

2025 年 1-6 月，该公司进一步拓展新客户，实现对屹唐股份、思锐智能、无锡邑文等细分领域头部客户的销售收入突破，客户结构持续多元化。

2022 年、2023 年、2024 年、2025 年 1-6 月，恒运昌前五名供应商采购金额占比分别为 64.13%、60.18%、58.33%、60.01%。其引进日本供应商 S 的真空泵产品，为下游客户提供半导体及其他工业真空装备的核心零部件整体解决方案，因此各期采购金额较高。

04.

拓荆科技是第七大股东，

多位核心技术人员有 AE 背景  

恒运昌的注册资本为 5077 万元，法定代表人、实际控制人是其董事长、总经理乐卫平，控股股东为深圳市恒运昌投资有限公司，拥有 3 家全资子公司，无参股公司。

拓荆科技是其第七大股东，直接持股 3.09%。拓荆科技全资子公司上海岩泉持有恒运昌 0.33% 的股份。

本次发行前，乐卫平直接持有恒运昌 23.0866% 的股份表决权，并通过恒运昌投资、投资中心、投资发展中心分别间接控制恒运昌 25.8179%、20.7787%、3.1895% 的股份表决权，合计控制恒运昌 72.8727% 的股份表决权。

乐卫平出生于 1973 年，曾任职于湖南省桃源县邮电局电信设备厂、 AE（深圳）、AE（上海），是恒运昌的核心技术人员之一。

其他多位核心技术人员均有 AE 任职背景，例如，研发总监林伟群曾任 AE（深圳）高级工程师、AE（上海）深圳分公司高级工程师，职工董事、软件研发经理姚志毅曾任 AE（深圳）工程师、AE（上海）深圳分公司工程师。

恒运昌现任董事俞日明是乐卫平配偶的妹夫。除上述情形外，截至招股书签署日，恒运昌现任董事、原监事、高级管理人员及其他核心人员之间不存在亲属关系。

2024 年，恒运昌董事、监事、高级管理人员与核心技术人员从该公司领取薪酬的情况如下：

05.

结语：等离子体射频电源系统

国产化势在必行

等离子体射频电源系统作为薄膜沉积、刻蚀、离子注入、清洗去胶和键合环节生产设备的核心零部件，是半导体制造中等离子体工艺控制的核心。受近年来的半导体产业链 " 卡脖子 " 的影响，我国半导体设备核心零部件的国产化和自给自足势在必行。

当前，国产等离子体射频电源系统与 MKS、AE 等国际企业仍有一定差距，产品尚未进入国际半导体市场，主要用于国产半导体设备商。

作为国内极少数实现量产半导体级等离子体射频电源系统的企业，恒运昌填补了国产等离子体射频电源系统在高端半导体设备上应用的空白，产品实现向国内领先的半导体设备厂商批量交付，并批量应用于国内新建晶圆厂中，对进口机台的等离子体射频电源原位替换或维修保障了国内晶圆产线的可持续生产，为国内半导体产业摆脱海外供应链依赖、解决 " 卡脖子 " 问题做出了贡献。

芯圈 IPO

深度追踪国内半导体企业 IPO；在国产替代的东风下，一批优秀的国内半导体公司正奔赴资本市场借势发展。

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