《科创板日报》11 月 14 日讯（记者 黄修眉）今日，上交所上市委审核委员会 2025 年第 54 次审议会议通过了深圳市恒运昌真空技术股份有限公司（下称 " 恒运昌 "）的科创板 IPO 申请，辅导机构为中信证券。该公司 IPO 申请于 2025 年 6 月 13 日获受理，经历两轮审核问询后，最终得以过会。

此次 IPO，恒运昌原拟募资 15.50 亿元，投向沈阳半导体射频电源系统产业化建设项目等 5 大项目。招股书上会稿中披露的拟使用募集资金 14.69 亿元。

从此次审议会议关注的内容来看，恒运昌的成长性和业绩波动风险，以及对大客户的依赖等问题，成为监管层关注重点。根据公司此前披露的招股书上会稿及两轮审核问询回复，恒运昌的经营业绩在经历一段时间暴增后，2025 年开始大幅下降。

第三代 Aspen 系列应用于 7-14 纳米制程

半导体制造被誉为工业皇冠上的明珠，而等离子体射频电源系统则是这颗明珠制造过程中不可或缺的 " 指挥家 "。

这一关键零部件长期被美国 MKS 和 AE 等海外巨头垄断，根据弗若斯特沙利文统计，2024 年中国大陆半导体领域等离子体射频电源系统的国产化率不足 12%。

恒运昌是我国产半导体射频电源系统龙头企业，其先后推出 CSL、Bestda、Aspen 三代产品系列，成功打破了海外巨头长达数十年的垄断格局。

招股书显示，恒运昌自主研发的第二代产品 Bestda 系列可支撑 28 纳米制程，第三代产品 Aspen 系列更可支撑 7-14 纳米先进制程，达到国际先进水平，填补了国内空白。根据弗若斯特沙利文统计，2024 年在中国大陆半导体行业国产等离子体射频电源系统厂商中，恒运昌的市场份额位列第一。

客户拓展方面，恒运昌产品亦稳定批量交付拓荆科技、中微公司、北方华创、微导纳米、盛美上海等国内头部半导体设备商，并成为其在薄膜沉积、刻蚀环节的战略级供应商。截至 2025 年上半年末，恒运昌与上述客户已实现百万级收入的自研产品达 38 款，千万级收入的自研产品达 24 款。

不过，恒运昌亦在公开资料中提到，其第三代产品 Aspen 系列虽可支撑 14 纳米先进制程，但国际巨头 MKS、AE 已垄断 7 纳米以下市场，而恒运昌在这一关键技术领域尚未取得实质性突破。

（图：恒运昌与部分业内可比公司在路线与技术指标的对比）

（图：恒运昌与部分业内可比公司在路线与技术指标的对比）

预计 2025 年营收同比小幅下降

业绩方面，随着半导体行业上行周期，市场需求旺盛，晶圆厂纷纷加大资本开支，扩充产能，对半导体设备及零部件的采购需求激增，恒运昌在 2022 至 2024 年间营收净利双双实现大幅增长。

招股书显示，2022 年度至 2024 年度，恒运昌业绩增长迅速，营收从 1.58 亿元一路升至 5.41 亿元，复合增长率达 84.91%；归母净利润也从 2618.79 万元升至 1.42 亿元，复合增长率达到 132.49%。

这条高增长曲线在 2025 年上半年却突然大幅放缓，期间恒运昌实现营收 3.04 亿元，同比仅增长 4.06%；同期实现归母净利润 0.69 亿元，同比反而下滑 11.99%。

对于业绩波动，恒运昌在审核问询回复中明确表示：公司预计 2025 年度营收同比小幅下降。全年营收预计将落在 5 亿元的上下区间内，全年扣非净利润有可能低于 1 亿元，迎来同比 20% 以上的跌幅。

更值得注意的是，公司申请文件显示，截至 2025 年上半年末，恒运昌在手订单金额为 1.2 亿元，第三季度末的在手订单却锐减至 8440 万元，下滑幅度达 29.67%。

大客户拓荆科技多次增资且持股 3.09%

股权结构方面，公司实控人乐卫平直接持股比例为 23.08%，通过恒运昌投资、投资中心、投资发展中心间接控制公司 49.7861% 股权，合计控制 72.8727% 的表决权。

此外，国有资本国投创业、上市公司拓荆科技分别持有该公司 8.15% 和 3.09% 的股份，为其第四大股东和第七名股东。恒运昌的股东名单中的国有资本还包括电控产投、基石资本、中科英智和湖南高新创投。

值得一提的是，上交所在审核中关注的大客户依赖问题实际上亦与该公司股权结构中上市公司拓荆科技有关。

2022 年度至 2024 年度及 2025 年上半年，恒运昌对拓荆科技的销售占比分别为 45.23%、58.16%、63.13%、62.06%，呈现持续上升趋势。

2022 年 8 月，恒运昌产品开始批量交付拓荆科技时，拓荆科技以 2000 万元投资恒运昌，投后估值 5.7 亿元。2023 年 10 月，拓荆科技再次增资，恒运昌的投前估值飙升至 30 亿元。

2025 年上半年，恒运昌将拓荆科技的信用账期从 30 天延长至 60 天。这一变化直接导致了公司应收账款大幅上涨。截至 2025 年 6 月 30 日，恒运昌应收账款余额为 13023.87 万元，其中对拓荆科技的应收账款占比 58.82%。