证券之星消息，精测电子 ( 300567 ) 11 月 27 日在投资者关系平台上答复投资者关心的问题。

投资者：请问贵公司半导体板块旗下公司上海精测半导体技术有限公司、上海精积微半导体技术有限公司、武汉精鸿电子技术有限公司、武汉颐光科技有限公司，1、分别主营产品？2、技术路线有何异同？3、公司之间是否存在关联交易？

精测电子董秘：您好！公司半导体板块实行统一规划与协同布局，上海精测、上海精积微、武汉精鸿、武汉颐光等子公司共同围绕集团规划业务开展，在不同工艺环节和应用场景上形成分工协同。公司目前在半导体领域的主营产品分为前道和后道测试设备，包括膜厚量测系统、光学关键尺寸量测系统、电子束缺陷检测系统、半导体硅片应力测量设备、明场光学缺陷检测设备和自动检测设备（ATE）等。公司及子公司之间的相关交易均按照市场化、公允原则开展，具体情况以公司定期报告披露为准。感谢您对公司的关注，谢谢！

投资者：尊敬的董秘，公司 BFI 设备已实现 14nm 交付、28nm 验收，半导体在手订单占比超五成，但从该设备单价推断 BFI 设备未大规模放量。请问未放量核心原因是什么？盼清晰回复以助投资者判断。

精测电子董秘：您好！在明场光学缺陷检测设备领域，公司目前已累计取得多台（套）正式订单，已实现小批量交付及验收。其中，14nm 先进制程工艺节点的明场缺陷检测设备已正式交付客户，目前验收等相关工作进展顺利，设备运行情况良好；28nm 制程工艺节点的明场缺陷检测设备已在客户端完成验收。明场光学缺陷检测设备等新产品，预计后续会成为公司业绩的核心驱动力。感谢您对公司的关注，谢谢！

投资者：董秘您好，2025 年中报显示孙公司上海精积微业绩爆发，净利润高达 6929 万元，成为半导体业务重要盈利引擎。历史上公司曾通过股权转让、表决权委托强化对其控制，但当前母公司及子公司上海精测持股比例仍有限。结合公司明确以半导体为核心的发展战略，请问是否计划通过增资或收购少数股权进一步提升持股，强化对优质资产的投入，助力精积微扩大规模、深化半导体业务布局？

精测电子董秘：您好！公司高度重视上海精测及上海精积微在半导体业务中的价值，会在符合监管要求、公司整体战略、财务状况及全体股东利益的前提下，通过多种形式进一步优化持股结构。强化对优质资产的投入，助力上海精测及上海精积微扩大规模、深化半导体业务布局。后续若触及信息披露标准，公司将严格按照相关法律法规规定及时履行信息披露义务。感谢您对公司的关注，谢谢！

投资者：你好，目前已经有国内半导体设备厂披露已经批量出设备给国内 HBM 厂商，请问贵司 HBM 设备是否已经批量出货，目前拿到多少订单，如何看待 HBM 设备的市场前景

精测电子董秘：您好！公司有 HBM 存储芯片制程相关的老化测试设备，同时也在积极开发面向 HBM 的 FT 测试系统，具体情况涉及公司商业机密，不便进行披露。感谢您对公司的关注，谢谢！

投资者：公司有应用于 HBM 的 AOI 量测设备吗？是否有销售订单

精测电子董秘：您好！公司有 HBM 存储芯片制程相关的老化测试设备，同时也在积极开发面向 HBM 的 FT 测试系统，具体情况涉及公司商业机密，不便进行披露。感谢您对公司的关注，谢谢！

投资者：尊敬的董秘你好，目前公司处于 " 订单爆发 " 与 " 现金流紧张 " 并存的战略机遇期。公司有哪些有效的措施将充沛的订单和技术的领先优势，高效地转化为健康的经营性现金流？四季度有没有可能大幅改善日益严峻的现金流质量问题？谢谢

精测电子董秘：您好！公司一方面通过优化交付节奏、加强应收账款与回款管理等方式，提高订单向经营性现金流的转化效率，另一方面综合运用多元化融资工具，保障运营与项目执行。公司现金流情况受行业环境、交付节奏及客户回款进度等多重因素影响，公司将持续努力改善现金流质量。感谢您对公司的关注，谢谢！

投资者：董秘您好，请问子公司北京精测半导体研发的准分子激光器，是否采用 Ar （氩） 和 F ₂（氟气） 混合气体放电方案产生 193nm 深紫外激光？

精测电子董秘：您好！北京精测半导体目前研发的准分子激光器未采用该技术路线。感谢您对公司的关注，谢谢！

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