钛媒体 App 12 月 9 日消息，今年 1 到 11 月，市场监管总局新批准发布 85 项服务 " 双碳 " 工作和精密制造产业发展的国家标准物质，为提高碳测量数据和精密制造测量数据精准性提供有力支撑。在服务精密制造产业发展方面，批准发布高纯氮、高纯氧等 13 项电子气体国家标准物质。在半导体器件制造过程中，高纯度电子气体标准物质可用于清洗、刻蚀、沉积等多个关键环节，确保晶圆的纯净度和性能。在集成电路生产过程中，高纯度电子气体标准物质在光刻、离子注入、氧化等工艺中发挥着重要作用，保障集成电路的稳定性和可靠性。 ( 央视新闻 )