每经 AI 快讯，12 月 24 日，据晶盛机电官微消息，近日，晶盛机电在碳化硅（SiC）核心装备领域取得重大突破，12 英寸单片式碳化硅外延生长设备顺利交付全球头部 SiC 外延晶片生产商瀚天天成。此次研发的 12 英寸单片式 SiC 外延设备可兼容 8、12 英寸 SiC 外延生产，其独创的垂直分流进气方案，实现了晶圆表面温度高精度闭环控制、工艺气体精确分区控制等技术，同时设备配备了自动化上 / 下料模块及一键自动 PM 辅助功能，大幅提升颗粒控制能力和维护效率。

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