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Intel 18A芯片厂揭秘:已有4台EUV光刻机 月产4万片晶圆
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快科技 12 月 25 日消息,Intel 前不久发布了 18A 工艺,这是 Intel 四年五代工艺中最关键的一环,尤其是 20A 工艺已经取消的情况下。

按照以前的计算方式,18A 工艺就相当于 1.8nm 工艺,理论上比台积电当前最先进的 2nm 还要强一些,不过后者现在也没有太多可信数据,就算 18A 密度不敌它,但总体上略好于 3nm 工艺应该没问题。

18A 工艺还有 2 大关键创新技术,一个是 RibbonFET 晶体管,这是 Intel 自己开发的 GAA 环绕栅极晶体管技术,一个是 PowerVia 背部供电技术,可改善以往正面布线的堵塞及压降等问题,两个技术加起来可以降低功耗,提升性能。

18A 工艺主要在 Intel 位于亚利桑那州的 Fab 52 芯片厂生产,该工厂据悉已经安装了至少 4 台 EUV 光刻机,其中一台是最先进型号 NXE:3800E,每小时产能可达 220 片晶圆,其余 3 台则是 NXE:3600D 型号,每小时产能 160 片晶圆。

Fab 52 晶圆厂达到设计产能时,每周可生产 1 万片晶圆,月产能就是 4 万片晶圆,规模还是很大的,相当于台积电在美国的 Fab 21 工厂一期及二期的总和。

Intel 预计在亚利桑那州的园区最终部署至少 15 台 EUV 光刻机,还包括下一代的 High NA EUV 光刻机,不过具体占比还是谜。

18A 工艺的两款产品是 PC 级的 Panter Lake 以及服务器级的 Clearwater Forest,明年会大量上市,但是目前产能还是爬坡阶段,良率依然是影响产品出货及成本的关键。

Intel 之前提到他们已经找到了符合业界标准的良率爬坡曲线,每月提升 7%,但是要想达到最理想状态的良率,可能要到 2027 年初了。

这就意味着 CES 展会上正式发布的 Panter Lake 笔记本不会便宜,搞不好跟之前的 Lunar Lake 一样定位高端,此前 Intel 的采访中也暗示会放弃一些低端市场。

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