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中企关键突破!雷声激光实现全固态深紫外激光器量产
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快科技 1 月 1 日消息,环球网报道,杭州雷声激光技术有限公司宣布,其自主研发的全固态深紫外(DUV)激光器已实现规模化稳定量产。

该产品的核心性能指标经中国计量科学研究院认证,达到国际领先水平,标志着我国在高端光电子核心器件领域取得关键突破。

深紫外激光被誉为光子能量的 " 尖端利器 ",在半导体芯片光刻检测、精密微纳加工、前沿科学研究、高端医疗及国防安全等领域具有不可替代的战略价值。

长期以来,其核心技术被少数国际巨头垄断,成为制约我国相关产业自主发展的瓶颈之一。

面对材料、工艺、封装与控制等多重挑战,公司组建了由顶尖光学工程师、物理学家和工艺专家构成的研发团队,从晶体生长、谐振腔设计,到泵浦源优化与系统稳定性控制,坚持在每一个环节深入钻研,积累了千万量级的工艺与测试数据,以毫米之功追求微米之精,逐步实现了产品性能的持续突破。

2025 年 7 月 7 日,中国计量科学研究院对该激光器进行了严格测试并出具权威认证报告。

数据显示,其光束质量接近衍射极限,输出功率稳定性优于 ± 0.5%,平均无故障运行时间显著领先行业标准,整机电光转换效率突破 46%,相比传统气体激光器的约 3% 实现了跨越式提升,在能效与可靠性方面均达到国际顶尖水平。

目前,雷声激光的深紫外激光模块已实现批量交付,客户包括多家国内半导体设备制造商、精密检测仪器企业及前沿科研机构,为我国相关领域的自主化与产业化发展提供了关键支撑。

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