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每台售价超28亿元 超级EUV光刻机成Intel杀手锏:用法极其奢侈
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快科技 1 月 4 日消息,下周的 CES 展会上 Intel 预计会正式推出 Panther Lake 处理器,这是 18A 工艺量产的首款消费级处理器。

18A 工艺是近年来 Intel 最关键的一次升级,没有之一,用上 RibbonFET 晶体管及 PowerVia 背部供电技术,可以进一步降低芯片功耗,提高频率。

18A 工艺已经在 Intel 位于亚利桑那州的 Fab 52 工厂量产,达产时月产能将达到 4 万片晶圆,良率表现据说也达到了预期。

Intel 10 月份组织了一次工厂行,开放了 Fab 52 工厂参观,还展示了先进的 EUV 光刻机,但是 18A 工艺还有很多秘密没有公布,很可能用上了下一代的 High NA EUV 光刻机作为杀手锏。

High NA 型是当前 EUV 光刻机的下一代产品,主要是 NA 指标从 0.33 提升到了 0.55,可以进一步提升光刻分辨率,但是成本提升也是巨大的,一台售价要 4 亿美元,约合 28 亿元,比当前 EUV 光刻机 1.5-2 亿美元的价格翻倍还多。

Intel 在 EUV 光刻机商落后了,因此把 High NA EUV 视为工艺翻身的机会,前几年就官宣成为 High NA EUV 的首家客户,从 Intel 这两年公布的信息来判断,他们至少买了 3 台 High NA EUV 光刻机了。

不过也有说法是 Intel 包圆了 ASML 这几年来的 High NA EUV 产能,大约有 6-7 台,可以说非常壕了,毕竟台积电、三星并不打算第一时间就抢购 High NA EUV 光刻机。

Intel 如此大手笔购买 High NA EUV 是做什么用的?此前他们提到会在下一代的 14A 工艺上应用这种光刻技术,但是 14A 还没建厂呢,目前最多是在试验开发中。

Intel 自己披露的消息称,他们每个季度使用 High NA EUV 生产超过 3 万片晶圆,也就是每个月 1 万片晶圆,要知道 1 万的产能对实际量产的工厂来说都不小了,现在 Intel 在技术研发上就如此大量生产,实在是太烧钱太奢侈了。

这不太合理,那 High NA EUV 光刻机可能还有一种用途,就是现在的 18A 工艺上已经秘密使用了这种光刻机,但 Intel 不打算宣传也不打算公布。

猜测 Intel 的想法是把 High NA EUV 作为 18A 工艺秘而不宣的优势,打竞争对手一个措手不及,延长 Intel 在 High NA EUV 技术上的优势。

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