证券之星消息,根据天眼查 APP 数据显示光迅科技(002281)新获得一项发明专利授权,专利名为 " 一种测量金属膜膜厚的优化方法 ",专利申请号为 CN202310843452.5,授权日为 2026 年 2 月 24 日。
专利摘要:本发明公开了一种测量金属膜膜厚的优化方法,包括:创建输入功率、金属膜膜厚和工艺时间之间的测量模型;根据真空镀膜理论,获取金属膜的第一极限电阻率;获取第一极限电阻率、金属膜材电阻率和金属膜膜厚之间的对应关系;将对应关系和第一极限电阻率输入到测量模型内,将测量模型转换为中间模型;对金属膜方阻与输入功率进行线性拟合,获取中间模型的参数,并利用中间模型的参数对测量模型的参数进行定标,并利用标定后的测量模型计算出金属膜膜厚。本发明对测量模型的参数进行标定,在保证测量模型准确性的同时,只需要知道工艺时间和输入功率就能通过标定后的测量模型,计算出金属膜膜厚;省去了金属膜膜厚的测量,极大降低成本提高效率。
今年以来光迅科技新获得专利授权 25 个,较去年同期增加了 150%。结合公司 2025 年中报财务数据,2025 上半年公司在研发方面投入了 4.46 亿元,同比增 42.91%。
通过天眼查大数据分析,武汉光迅科技股份有限公司共对外投资了 8 家企业,参与招投标项目 2380 次;财产线索方面有商标信息 7 条,专利信息 1871 条,著作权信息 119 条;此外企业还拥有行政许可 93 个。
数据来源:天眼查 APP
以上内容为证券之星据公开信息整理,由 AI 算法生成(网信算备 310104345710301240019 号),不构成投资建议。


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