快科技 4 月 24 日消息,据报道,三星电子全球首次成功产出了基于 4F ² 架构的 DRAM 工作晶圆,一举突破了传统平面 DRAM 长期面临的物理微缩极限。
据悉,今年 2 月,三星已在 ISSCC 2026 会议上首次公开展示了这颗融合 4F ² 架构的 16Gb DRAM 原型。
三星 3 月运用 10a 工艺完成晶圆生产,并通过特性测试确认晶片正常运行。该成果为全球首次融合 4F ² 单元结构与垂直沟道晶体管(VCT)工艺的实践。

技术上,4F ² 架构将传统 DRAM 的单元面积从 6F ² 缩减为 2F × 2F 正方形结构,理论上可提升单位面积容量 30% 至 50%,同时兼顾速度与功耗优势。
为实现这一结构,三星引入了 VCT 技术,将晶体管沟道垂直树立,在有限芯片面积内增加沟道长度,有效缓解传统平面晶体管在微缩时遭遇的短沟道效应与漏电问题。
另一方面,三星采用了晶圆间混合铜键合技术,将存储单元阵列与外围电路在不同晶圆上分开制造再垂直堆叠,实现超高密度互联。
通道材料也从传统硅换为铟镓锌氧化物(IGZO),以在缩小单元中抑制泄漏电流。
未来同尺寸 DRAM 芯片可以塞进更多单元,轻薄本、智能手机等终端设备有望在小体积、低功耗前提下,获得更大内存容量和更快数据吞吐速度。
三星为此规划了清晰的路线图—— 2026 年完成 10a DRAM 开发,2027 年开展品质测试,2028 年转入量产。
SK 海力士计划在 10b 节点引入 4F ² +VCT,美光则维持现有设计路线,中国厂商因 EUV 受限直接布局 3D DRAM。



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