中邮证券有限责任公司吴文吉 , 翟一梦近期对屹唐股份进行研究并发布了研究报告《屹守初心，芯耀新元》，首次覆盖屹唐股份给予买入评级。

屹唐股份 ( 688729 )

投资要点

聚焦干法去胶 + 快速热处理 + 干法刻蚀，业绩稳健增长。2025 年度公司实现营收 50.76 亿元，同比增长 9.57%；归母净利润 6.71 亿元，同比增长 24.03%；扣非归母净利润 54,070.69 万元，同比增长 11.61%。公司坚持植根中国的国际化经营策略，持续推动干法去胶设备、快速热处理设备、干法刻蚀及等离子体表面处理设备的市场开发与客户导入，实现销售规模增长。2024 年，公司干法去胶设备、快速热处理设备、干法刻蚀设备的收入占比分别为 40.31%、24.06%、12.45%。2025 年，公司干法去胶设备销售收入基本保持稳定，市场占有率位居全球第二；快速热处理设备销售收入 14.81 亿元，同比增长 32.85%；干法刻蚀及等离子体表面处理设备销售收入 7.54 亿元，同比增长 30.73%。公司坚持加大研发投入，陆续开发并推出了新一代先进干法去胶设备 Optima、新一代先进干法刻蚀设备 RENA-E、先进等离子体表面处理和材料改性设备 Escala 等新产品，各类新设备均已获得客户量产订单且公司持续拓展新客户、新应用。

干法去胶、快速热处理等位居世界前列，刻蚀持续发力。根据 Gartner，2025E 全球集成电路制造干法去胶设备 / 热处理设备 / 干法刻蚀市场规模分别为 8.56/12.36/219 亿美元。2023 年，干法去胶设备领域前五大厂商比思科、屹唐股份、泰仕半导体、爱发科、泛林半导体的市场份额合计超过 90%，公司凭借 34.60% 的市场占有率位居全球第二，确立了在干法去胶设备细分市场中国际领先的行业地位。2021-2023 年，公司快速热处理设备的市场占有率保持全球第二的地位。2023 年，应用材料占有的全球快速热处理市场份额达到 69.66%，公司作为唯一一家中国企业以 13.05% 的市场份额列居第二，其他主要参与者包括国际电气、维易科等。刻蚀方面，2023 年，前三大厂商泛林半导体、东京电子及应用材料合计占有全球干法刻蚀设备领域 83.95% 的市场份额，公司刻蚀设备有较大成长空间。

研发成果加速兑现，持续为先进节点提供关键支持。本次 SEMICONChina 展会，公司重点展出了覆盖干法去胶、刻蚀、快速热退火、毫秒级退火及选择性材料去除等关键工艺的六款产品：Suprema 等离子体干法去胶设备、Optima 等离子体干法去胶设备、RENA-E 等离子体刻蚀设备、HeliosV 快速热退火设备、SynthEX M 毫秒级退火系统，以及 Nebulex 选择性材料去除设备。其中，Suprema 系列采用远程电感耦合等离子体源与双晶圆反应腔设计，具备高等离子体浓度、低颗粒污染和低综合持有成本等优势，已广泛应用于全球主流逻辑、存储及功率半导体产线。Optima 系列则是公司基于国产组件开发的干法去胶设备，具备完全离子屏蔽能力与全光谱终点检测，工艺灵活性和量产稳定性表现优异。在刻蚀领域，RENA-E 以其电感耦合等离子体技术实现了离子能量与密度的独立控制，兼具高刻蚀速率与低等离子体损伤，适用于存储器、逻辑芯片及 CMOS 图像传感器等复杂工艺场景。在热处理领域，HeliosV 采用独特的双面辐射加热技术，配合高精度温控系统，有效解决图形效应问题，满足先进逻辑、3D NAND、DRAM 等器件的严苛退火需求。SynthEX M 毫秒级退火系统则基于水壁氩气弧灯技术，支持尖峰退火与毫秒级退火一体化工艺，为超浅结形成、High-K 材料钝化等先进节点提供关键支持。此外，Nebulex 选择性材料去除设备基于远程等离子体与离子辅助控制技术，实现对介电和导体薄膜材料的高选择比去除，广泛应用于逻辑、存储及功率半导体器件的精细刻蚀与表面处理。

投资建议

我们预计公司 2026/2027/2028 年分别实现收入 61/76/92 亿元，归母净利润 8.52/11.52/15.05 亿元，首次覆盖，给予 " 买入 " 评级。

风险提示

与国际龙头在产品线覆盖广度存在较大差距的风险；贸易摩擦风险；客户集中度较高的风险；公司规模扩张带来的管理和内控风险；商誉减值风险；汇率波动风险；税收政策变动风险；市场竞争风险；技术升级迭代的风险；核心研发人员流失或不足的风险；核心技术泄密的风险。

证券之星数据中心根据近三年发布的研报数据计算，东北证券李玖研究员团队对该股研究较为深入，近三年预测准确度均值为 78.71%，其预测 2026 年度归属净利润为盈利 8.84 亿，根据现价换算的预测 PE 为 78.7。

最新盈利预测明细如下：

该股最近 90 天内共有 1 家机构给出评级，买入评级 1 家。

以上内容为证券之星据公开信息整理，由 AI 算法生成（网信算备 310104345710301240019 号），不构成投资建议。