证券之星消息,根据天眼查 APP 数据显示兴福电子(688545)新获得一项发明专利授权,专利名为 " 一种选择性蚀刻氮化硅及氧化硅和氮化钛的蚀刻液 ",专利申请号为 CN202411696140.7,授权日为 2026 年 5 月 12 日。
专利摘要:本发明涉及一种选择性蚀刻氮化硅和氧化硅、氮化钛的蚀刻液,该蚀刻液包括磷酸、表面活性剂、蚀刻抑制剂和超纯水。本发明所述的蚀刻液和处理条件,对于氮化硅和氧化硅、氮化钛的蚀刻具有较高的蚀刻选择性和稳定的蚀刻速率。表面活性剂能够改善蚀刻液中溶剂的溶解性,降低溶液中固液相界面的张力,促进相间物质的传递速率,从而提高氮化硅和氧化硅的选择比,最终是选择比>100;蚀刻抑制剂能够与金属以配位键的形式在氮化钛表面形成一层薄膜,大幅降低了蚀刻液对氮化钛的蚀刻速率,使得蚀刻选择比>20。本发明的蚀刻液可以在较高的氮化硅蚀刻速率的条件下,抑制氮化钛的蚀刻速率,可以确保满足氮化硅和氧化硅、氮化钛高选择比的要求。
今年以来兴福电子新获得专利授权 11 个,较去年同期减少了 21.43%。结合公司 2025 年年报财务数据,2025 年公司在研发方面投入了 9291.33 万元,同比增 20.79%。
通过天眼查大数据分析,湖北兴福电子材料股份有限公司共对外投资了 10 家企业,参与招投标项目 232 次;财产线索方面有商标信息 7 条,专利信息 532 条,著作权信息 6 条;此外企业还拥有行政许可 287 个。
数据来源:天眼查 APP
以上内容为证券之星据公开信息整理,由 AI 算法生成(网信算备 310104345710301240019 号),不构成投资建议。


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