证券之星消息,根据天眼查 APP 数据显示中微公司(688012)新获得一项发明专利授权,专利名为 " 等离子处理设备及其等离子体约束环 ",专利申请号为 CN202311127814.7,授权日为 2026 年 5 月 12 日。
专利摘要:一种等离子处理设备及其等离子体约束环,等离子体约束环环绕设置于基座外围与真空反应腔的侧壁之间,等离子体约束环包含内环组件和外环组件以及分别连接内环组件和外环组件的排气通道组件,内环组件与基座外围接触,内环组件的顶部与基座的顶部齐平,外环组件与真空反应腔的侧壁接触,排气通道组件的顶部表面低于内环组件的顶部表面。本发明减小了等离子体泄露的风险,降低了高功率下发生电弧放电的风险,也减少了等离子体对于等离子体约束环表面涂覆的保护涂层的腐蚀,提高了设备可靠性。
今年以来中微公司新获得专利授权 62 个,较去年同期减少了 7.46%。结合公司 2025 年年报财务数据,2025 年公司在研发方面投入了 24.75 亿元,同比增 74.61%。
通过天眼查大数据分析,中微半导体设备(上海)股份有限公司共对外投资了 29 家企业,参与招投标项目 80 次;财产线索方面有商标信息 111 条,专利信息 1672 条,著作权信息 13 条;此外企业还拥有行政许可 88 个。
数据来源:天眼查 APP
以上内容为证券之星据公开信息整理,由 AI 算法生成(网信算备 310104345710301240019 号),不构成投资建议。
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