【应三星电子要求 韩国化学企业 PKC 拟将半导体氯气产能扩大 50%】《科创板日报》28 日讯,韩国化学企业 PKC 已启动其群山工厂半导体氯气产能扩建工程,产能将提升 50%。年产能将从目前的 1400 至 1500 吨提升至 2100 至 2200 吨。此次投资是在事先与三星电子协商后决定的,规模达数百亿韩元。扩建的驱动因素是高密度 NAND 闪存堆叠所需的蚀刻气体需求激增,以及三星电子要求扩大氯化氢的供应。氯化氢常用于半导体晶圆清洗和蚀刻工艺,其通过氯气与氢气反应生成。

【应三星电子要求 韩国化学企业 PKC 拟将半导体氯气产能扩大 50%】《科创板日报》28 日讯,韩国化学企业 PKC 已启动其群山工厂半导体氯气产能扩建工程,产能将提升 50%。年产能将从目前的 1400 至 1500 吨提升至 2100 至 2200 吨。此次投资是在事先与三星电子协商后决定的,规模达数百亿韩元。扩建的驱动因素是高密度 NAND 闪存堆叠所需的蚀刻气体需求激增,以及三星电子要求扩大氯化氢的供应。氯化氢常用于半导体晶圆清洗和蚀刻工艺,其通过氯气与氢气反应生成。
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