【CNMO 科技消息】6 月 1 日，SK 海力士位于忠清北道清州市的 4 园区 3 栋 6 层气体室发生火灾。消防部门接到报警后迅速出动，火灾在自动喷水灭火系统（ sprinkler）启动后被扑灭，未造成大规模火势蔓延。但在灭火过程中，气体室内储存的毒性物质氟化氢发生部分泄漏，目前已确认有 6 名人员因此受伤。

SK 海力士

据韩国消防部门及 SK 海力士方面初步通报，事发地点为清州 4 园区的半导体生产辅助设施——气体室。该区域主要用于存放芯片制造过程中所需的各种特种气体，其中就包括具有强腐蚀性和剧毒性的氟化氢。氟化氢在半导体工艺中常用于晶圆蚀刻和清洗，但一旦泄漏，会对人体呼吸道、皮肤及眼睛造成严重伤害，高浓度暴露甚至可能危及生命。

截至发稿时，事故已造成 6 名现场人员受伤。伤者已被立即送往公司内部的医务室及附近医院接受治疗。消防部门表示，已派出穿着防护服的队员进入现场，对事故的具体原因和损坏情况进行深入调查。消防官员补充说，受伤人数仍有可能进一步增加。

目前，韩国消防、警方以及 SK 海力士方面正在对事故原因展开联合调查。这家芯片工厂是全球主要的半导体生产基地之一，在 DRAM 和 NAND 闪存供应链中占据重要地位，此次事故是否会对其后续生产运营造成影响，备受市场关注。