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三星启动1.4nm工艺开发:29年量产 用上4亿美元的下代EUV光刻机
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快科技 6 月 30 日消息,韩国日前宣布未来 10 年 1000 万亿韩元(约合 4.4 万亿人民币)的芯片投资计划,虽然主要是面向存储芯片,但先进工艺也一样会得到加速。

三星去年就量产了 2nm 工艺 SF2,Galaxy S26 系列手机的 Exynos 2600 首发,只不过实测结果显示还是没完全打赢台积电的 3nm 工艺芯片。

好消息是三星还会启动更强大的 1.4nm 工艺 SF1.4 研发,该工艺原本是在 2027 年量产,但三星之前调整了进度,2nm 工艺会继续打磨两三年,1.4nm 工艺就推迟到了 2029 年量产,跟台积电、Intel 的 1.4nm 同级别工艺差不多时间。

三星日前已经向韩国国内及国外半导体设备供应商提出要求,希望他们提前研发针对 1.4nm 工艺的设备,未来会用于三星下一代半导体研发中心 NRD-K。

1.4nm 工艺具体的细节还不确定,但三星会在这一代工艺上正式引入 High NA EUV 光刻机,NA 0.55 比当前的 NA 0.33 更高,所以光刻分辨率也更高,是 2nm 节点以下的关键设备。

这个新一代 EUV 光刻机的价格也会大涨,预计售价在 4 亿美元左右,而当前的 EUV 光刻机也就 1.5-2 亿美元,价格翻倍,工厂的生产成本自然也会大涨。

台积电也是因为 High NA EUV 光刻机成本太贵,未来几代工艺还不会用这种设备,该设备主要的客户是 Intel,也是最早的客户,其次是 SK 海力士,三星算是第三家确定用的,明年的 10 台 High NA EUV 订单就靠他们三了。

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