快科技 7 月 3 日消息，随着先进工艺的需求快速增长，5nm 及以下工艺越来越离不开 EUV 光刻机了，其销量也会在未来几年迎来爆发，年销量将提升到百台级别。

EUV 光刻机全球只有荷兰 ASML 公司能供应，台积电、三星、Intel 等公司的产能是否旺盛，EUV 销量就是最好的指标，UBS 瑞银发布的研报显示未来五年其销量会大幅上涨。

EUV 工艺在 2018 年随着台积电 7nm 问世开始量产，前几年的销量都不算高，2018 年之后三大厂再加上内存芯片厂商的需求也就 19 台，2020 年才超过 30 台，2022 年最高超过 50 台，这两年又回到了 40 台上下。

但是今年开始销量会有一波爆发了，台积电今年购买 26 台，三星有 2 台，Intel 也有 4 台，再加上内存芯片爆发的 29 台，全年销量预计达到 63 台。

2027 年的产能更是有一波大提升，台积电的用量达到了 38 台，内存芯片的需求也上了一个台阶，全年销量将达到 95 台。

这个趋势会一直持续到 2030 年左右，每年销量维持在 100 台左右，台积电毫无疑问还是最大的买家，存储芯片的用量快要追上逻辑工艺需求了。

表格上面的 EUV 还是当前 NA 0.33 技术的，ASML 这两年就开始推 High NA EUV 光刻机，NA 提升到了 0.55，主要面向 2nm 及以下工艺，但是机器售价也从目前 2 亿美元提升到 4 亿美元，成本翻倍，所以销量跟常规的 EUV 光刻机暂时是没法比的。

这种超级 EUV 的首发客户是 Intel，23 年就购买了一台用于研究，不过截止到去年销量都不高，几家大厂也就是买一台研究用，就算到了今年明年，销量也就 6-7 台而已。

High NA EUV 光刻机的爆发要到 2029 年，台积电、三星及 Intel 预计会分别购买 5、3、2 台，再加上 SK 海力士的 3 台，销量能冲到 13 台。

到 2030 年销量还会再多几台，总量达到 18 台，增量也主要来自台积电及 SK 海力士，Intel 及三星的购买量不变，这方面还是比较谨慎。

值得注意的是，台积电的购买量是 UBS 估计的，但他们此前的表态显示对 High EUV 光刻机非常保守，只是买了研究用，直到 2029 年的 A12 工艺时也没计划使用这种光刻机，可能要到 A10 以下工艺才有可能使用 High NA EUV 光刻机，因此未来这种光刻机的销量变数很多，UBS 的数据参考下就行。