证券之星消息，根据天眼查 APP 数据显示华海清科（688120）新获得一项发明专利授权，专利名为 " 一种晶圆后处理装置 "，专利申请号为 CN202211022087.3，授权日为 2026 年 7 月 3 日。

专利摘要：本发明公开了一种晶圆后处理装置，其包括：槽体，其内部设置有晶圆后处理模块；顶盖，其设置于槽体的顶部并配置有开口，以经由所述开口取放晶圆；门体，其设置于所述顶盖上方，以打开或关闭所述开口；顶部导流结构，其设置于所述顶盖和门体的上方，以引导滴落至顶盖和门体的液体，远离槽体中放置晶圆的位置。本发明公开的晶圆后处理装置，其结构合理，配置的顶部导流结构能够将滴落在门体、顶盖的液体远离槽体内放置晶圆的位置引导，降低或避免含有颗粒物的液体对晶圆后处理效果的影响。

今年以来华海清科新获得专利授权 49 个，较去年同期增加了 4.26%。结合公司 2025 年年报财务数据，2025 年公司在研发方面投入了 5.37 亿元，同比增 40.63%。

通过天眼查大数据分析，华海清科股份有限公司共对外投资了 10 家企业，参与招投标项目 290 次；财产线索方面有商标信息 93 条，专利信息 825 条，著作权信息 35 条；此外企业还拥有行政许可 36 个。

数据来源：天眼查 APP

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