钛媒体快报 13小时前
阿斯麦:英特尔实现High NA EUV高数值孔径光刻量产应用
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钛媒体 App 7 月 15 日消息,阿斯麦宣布,英特尔代工已在 Intel 18A 工艺节点上,利用阿斯麦高数值孔径极紫外(High NA EUV)光刻技术量产部分 Intel Core Ultra Series 3(代号 Panther Lake)处理器,成为全球首家实现 High NA EUV 逻辑芯片高产量出货的企业。双方表示,Intel 18A 部分工艺层已完成 High NA EUV 双重认证,产品良率已达到现有 NXE EUV 平台水平,并将继续推进该技术在未来制程节点的应用。(广角观察)

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