快科技 7 月 17 日消息,英特尔已率先将 High-NA EUV 技术应用于量产(18A Panther Lake),而三星虽然已安装 2 台 High-NA EUV 设备,却迟迟没有跟进量产。
High-NA EUV 是新一代光刻机能更精确聚焦光线,一次画出更细密电路,每台成本超过 5000 亿韩元(约 22.85 亿元人民币)。
三星去年已在华城园区安装首台设备,今年上半年又增设一台,总投资超 1 万亿韩元(约 45.7 亿元人民币),但这些设备至今闲置,商业化部署仍处于暂停状态。
业内人士认为,三星这么做更多是出于财务考量而非技术瓶颈,三星晶圆代工业务自 2022 年以来持续亏损,部分市场观察人士预计最快今年第四季度实现盈利。
此时将 High-NA EUV 投入量产意味着固定运营成本大幅增加,三星不愿在即将扭亏为盈的节点上承担更多资本支出。
三星 2 纳米工艺良率已提升至 55% 左右,接近稳定量产所需的 60% 水平,技术上并非不能用新设备。
半导体设备行业人士表示,三星目前的良率已经可以部署新设备,但在获得更多大型客户订单、确保盈利能力更稳固之前,仍将维持保守的资本支出策略。
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