【中科飞测：明场缺陷检测等设备进展顺利 全年毛利率有望保持较高水平】《科创板日报》24 日讯，在中科飞测今日举行的半年度业绩会上，该公司董事长、总经理陈鲁表示，公司面向先进制程的明场纳米图形晶圆缺陷检测设备产线验证进展顺利，预计年内有希望看到更多积极的验证结果；晶圆平整度量测设备在国内头部 HBM 客户产线验证进展顺利，预计年内有希望看到更多的成果；电子束关键尺寸量测设备已出货到头部客户产线验证。展望全年，结合目前在手订单结构，全年前道制程收入占比有望回归正常区间，先进制程收入贡献进一步提高，全年以及未来毛利率有望保持较高水平。（科创板日报记者 陈俊清）