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三星显示将试制无FMM的7英寸OLED 采用自研MPO技术
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【CNMO 科技消息】三星显示正在开发一款不使用精细金属掩模版(FMM)的 7 英寸级 OLED 试制品,采用的是自有技术 MPO。目前该公司正推进基于 MPO 的工程样品(ES)制作,这也是这项技术第一次以接近实际产品的形态被验证。

图源网络

据业界 19 日消息,三星显示自今年 3 月起启动 MPO 产品项目。这一项目并不针对特定客户,而是设定了一套虚拟的客户需求条件,按准量产产品的水平来开发。第一阶段的完成目标定在年底,不过如果样品的完成度不及预期,开发日程也可能顺延到明年第一季度。

值得注意的是,MPO 的开发在今年年初实际上处于搁置状态。去年 9 月,三星显示曾在忠南牙山的 A2 产线上引入应用材料旗下 AKT 的 5.5 代四分之一尺寸垂直蒸镀机,用于评估非 FMM 技术。但这套技术与公司既有的中小尺寸、中大型 OLED 开发路线图并不契合,产品化方向也不够清晰,项目因此一度停摆。

真正让开发重新提速的契机,是一次拆解分析。维信诺采用非 FMM 技术 ViP 的智能手表 OLED,被三星显示在今年 3 月拿到手并做了详细研究。此前公司内部判断,ViP 在良率和器件特性上会明显落后于 FMM 方式,但分析结果并非如此。一位业界人士表示,维信诺这款产品在良率上确实还有困难,可它是第一款产品,器件特性就已经做到与 FMM 接近的水平,这一点被认为很有意义。他补充说,三星显示内部对良率有底气,认为这是自己擅长的领域,完全有能力改善。

从原理上看,MPO 属于先进图案化技术,无需 FMM 即可制作红绿蓝三色 OLED 像素,它依靠微细的隔离结构配合光刻工艺来区分像素。维信诺的 ViP 与 LG 显示的 FliPP 也属于同一类隔离壁型非 FMM 技术,差别藏在具体工序与最终结构里。ViP 和 FliPP 的做法是先在基板上大范围蒸镀有机物,再用光刻和刻蚀把多余部分去掉;MPO 则先做出微细隔离结构,借助这套结构只在需要的区域形成有机物,之后不再对有机层做额外刻蚀。隔离结构本身的去向也不同:ViP 与 FliPP 的隔离结构会留在最终产品中,MPO 则是在制造过程中用完之后将其去除。

这套工艺被认为更适合高分辨率 OLED。像素间距更容易设计得紧密,像素越做越小带来的有机层损伤和微细工艺管理负担也能降下来。材料与工序同样节省:ViP 和 FliPP 必须向最终会被去掉的区域投入有机材料,MPO 浪费的部分更少;少了刻蚀这一环,工艺简化和成本下降也有了空间。有业界人士评价,MPO 的研发方向更偏向高分辨率而非中大型产品,7 英寸级样品一旦做出来,就能看出它的技术优势在实际尺寸上究竟能兑现多少。

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