证券之星消息，根据企查查数据显示至纯科技（603690）新获得一项实用新型专利授权，专利名为 " 一种用于降低 IPA 溢出的抽风结构及晶圆烘干设备 "，专利申请号为 CN202522454279.7，授权日为 2026 年 10 月 23 日。

专利摘要：本实用新型公开了一种用于降低 IPA 溢出的抽风结构及晶圆烘干设备，涉及半导体生产设备技术领域，包括承载箱体，承载箱体的顶板上设有第一输气管以及第二输气管，承载箱体垂直于长度方向的两侧壁上分别设有第三输气管与出风管，第三输气管与承载箱体内的驱动气缸连接，驱动气缸用于控制第三输气管的通断，出风管连接有负压源，第二输气管的端口处设有第一手动阀，出风管向背离承载箱体的方向依次设有第二手动阀与气动旋转阀，气动旋转阀与 IPA 浓度检测计信号连接，本申请解决了现有用于晶圆烘干设备的抽风装置抽风结构单一，抽风风向固定，且抽风效率无法根据设备内部 IPA 蒸汽浓度变化而调整的技术问题。

今年以来至纯科技新获得专利授权 21 个，较去年同期减少了 51.16%。结合公司 2026 年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了 1.41 亿元，同比增 19.28%。

通过天眼查大数据分析，上海至纯洁净系统科技股份有限公司共对外投资了 45 家企业，参与招投标项目 79 次；财产线索方面有商标信息 107 条，专利信息 352 条，著作权信息 32 条；此外企业还拥有行政许可 57 个。

数据来源：企查查

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