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国内首款12英寸多晶碳化硅衬底在长沙问世:2027年后将逐步规模化供货
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快科技 10 月 30 日消息,湖南泰坦未来科技有限公司宣布推出国内首款 12 英寸多晶碳化硅衬底,导热率超过 280W/ ( mK ) ,在封装结构内作为导热基底使用,瞄准 AI 芯片与先进封装的散热瓶颈。

据介绍,该产品由该公司团队历经两年多全流程原创攻关制成,期间曾损耗两台气相沉积炉,并攻克材料致密化、大尺寸成型、应力调控等技术难题。

在关键性能上,该衬底沉积速度达每小时 60 微米,明显高于国内外同行 10 至 20 微米的水平;最低电阻率可小于 1 毫欧 · 厘米,优于国外同行约 10 毫欧 · 厘米的水平;孔洞缺陷少于每平方厘米 0.1 个,有助于提升芯片良率。

该产品目前已通过台积电相关认证测试,并向三星送样,同时与谷歌、英伟达等企业展开合作。项目正处于样品验证向小批量试产过渡阶段,预计 2027 年后逐步规模化供货。

泰坦未来的技术依托中南大学粉末冶金研究院的科研积累,团队核心成员包含多名中南大学博士。在此之前,公司已完成 6 英寸、8 英寸多晶碳化硅衬底的国产化开发。

与市场上用于功率器件外延的单晶碳化硅衬底不同,该款多晶碳化硅衬底定位以热管理基底为主,同时也可作为晶体生长载板、半导体高温制程基座等耗材使用。

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