近期，各大视频平台疯传一条消息

称清华大学 EUV 项目

把 ASML 的光刻机巨大化

实现了光刻机国产化

并表示这个项目已经在雄安新区落地

还在视频中配了这样一张图

表示图片中的项目就是光刻厂

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该项目是国产光刻机工厂？

NO！

这是北京高能同步辐射光源项目（HEPS）！

关于

北京高能同步辐射光源

HEPS 坐落于北京怀柔雁栖湖畔

是国家 " 十三五 " 重大科技基础设施

它是我国第一台高能量同步辐射光源

也是世界上亮度最高的

第四代同步辐射光源之一

早在 2019 年就开始建设

将于 2025 年底投入使用

△北京高能同步辐射光源项目实拍图

HEPS 是干嘛用的呢？

它的作用是通过加速器

将电子束加速到 6GeV

然后注入周长 1360 米的储存环

用接近光速的速度保持运转

电子束在储存环的不同位置

通过弯转磁铁或者各种插入件时

就会沿着偏转轨道切线的方向

释放出稳定、高能量、高亮度的光

也就是同步辐射光

简单的说

HEPS 可以看成是一个

超精密、超高速、具有强大穿透力的

巨型 X 光机

它产生的小光束

可以穿透物质、深入内部进行立体扫描

从分子、原子的尺度

多维度地观察微观世界

HEPS 是进行科学实验的大科学装置

并不是网传的光刻机工厂

该项目由

全国勘察设计大师、

国投集团首席科学家娄宇带队

中国电子院多个技术科研

和设计团队协同合作

从项目可研立项到项目落地

中国电子院攻克了多项技术和工艺难关

解决了项目不均匀沉降、微振动控制、

超长结构设计、光伏板设计、

精密温度控制、工艺循环冷却水系统、

超复杂工艺系统等七大技术难题

实现了重大技术突破

指标控制达到了国际先进水平

目前高能同步辐射光源配套工程已全面完工

向产生世界最 " 亮 " 的光又更近了一步

来源：中国电子院

编辑：王奇

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