《科创板日报》15 日讯，据 " 中国光谷 " 今日消息，光谷企业近日在半导体专用光刻胶领域实现重大突破：武汉太紫微光电科技有限公司推出的 T150 A 光刻胶产品，已通过半导体工艺量产验证，实现配方全自主设计，有望开创国内半导体光刻制造新局面。该产品对标国际头部企业主流 KrF 光刻胶系列。相较于被业内称之为 " 妖胶 " 的国外同系列产品 UV1610，T150 A 在光刻工艺中表现出的极限分辨率达到 120nm，且工艺宽容度更大，稳定性更高，坚膜后烘留膜率优秀，其对后道刻蚀工艺表现更为友好，通过验证发现 T150 A 中密集图形经过刻蚀，下层介质的侧壁垂直度表现优异。