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俄罗斯光刻机破冰!已搞定自研350nm光刻机
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快科技 3 月 19 日消息,据报道,在西方国家严苛的出口管制下,俄罗斯在半导体自主化道路上迈出关键一步。

俄罗斯国家工业信息系统(GISP)最新目录显示,由泽列诺格勒纳米技术中心(ZNTC)自主研发的新型光刻系统已正式纳入国家工业设备名录。

这也意味着俄罗斯在构建独立半导体制造生态系统、打破西方技术封锁上,迈出了从实验室研发到工业化部署的实质性一步。

该设备是一款对准和投影曝光装置,核心指标为 350 纳米(0.35 微米)分辨率,采用 365 纳米波长 i 线紫外光源,可处理 200 毫米标准晶圆,对准精度达 90 纳米。

虽然这一制程节点与全球最尖端的 3 纳米工艺存在代差,但在工业体系中依然具有极高的实用价值,具备量产工业级芯片能力,可应用于电源管理、汽车电子、航空航天控制及嵌入式系统等领域。

GISP 目录收录不仅是行政程序,更为国产设备打开国内市场通道,根据俄罗斯国家战略,政府及国企采购将优先选择名录内产品。

业界分析指出,现代工业对 350 纳米等成熟制程芯片需求稳定且庞大,汽车功率器件、工业机器人控制芯片、导弹制导系统抗辐射元件等均无需极致微缩化,更看重可靠性与供应稳定性,这台设备恰好填补了俄罗斯在成熟制程供应链上的空白。

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