来源：新浪证券 - 红岸工作室

6 月 13 日消息，国家知识产权局信息显示，江苏微导纳米科技股份有限公司申请一项名为 " 一种薄膜沉积设备及沉积方法 " 的专利，授权公告号 CN118910582B，授权公告日为 2026 年 6 月 12 日。申请公布号为 CN118910582A，申请号为 CN202410977147.X，申请公布日期为 2026 年 6 月 12 日，申请日期为 2024 年 7 月 19 日，发明人杜晓禹、王新征、许所昌、苏晓华、龚炳建，专利代理机构深圳市威世博知识产权代理事务所（普通合伙），专利代理师石惠，分类号 C23C16/455、C23C16/44、C23C16/40。

专利摘要显示，本发明公开了一种薄膜沉积设备及沉积方法，涉及半导体技术领域。该薄膜沉积设备包括 ALD 主体、铪源过滤器及铪源管路，铪源过滤器的两端与 ALD 主体及铪源管路分别连接；ALD 主体具有沉积腔室，铪源管路通过铪源过滤器与沉积腔室连通，铪源管路用于将四氯化铪气体通入沉积腔室，铪源过滤器用于过滤四氯化铪气体中的四氯化铪颗粒。本发明提供的薄膜沉积设备能够显著提升二氧化铪薄膜的沉积品质。

微导纳米成立于 2015 年 12 月 25 日，于 2022 年 12 月 23 日在上海证券交易所上市，注册及办公地址均为江苏省无锡市。该公司是国内领先的高端薄膜沉积设备制造商，核心产品为 ALD 设备，技术实力强，产品广泛应用于多个领域。

微导纳米以 ALD 技术为核心，专注于先进微、纳米级薄膜沉积技术和设备的研究与产业化应用，为光伏、集成电路等半导体与泛半导体行业提供高端装备与技术解决方案，所属申万行业为电力设备 - 光伏设备 - 光伏加工设备，涉及半导体设备、专精特新、OLED 等概念板块。

2025 年，微导纳米实现营业收入 26.33 亿元，在行业 12 家公司中排名第 9，远低于行业第一名捷佳伟创的 154.72 亿元和第二名晶盛机电的 113.57 亿元，也低于行业平均数 56.11 亿元和中位数 45.56 亿元。其主营业务中，光伏设备收入 15.91 亿元，占比 60.43%；半导体设备收入 8.81 亿元，占比 33.45%。当期净利润 2.19 亿元，行业排名第 7，同样远低于第一名捷佳伟创的 26.18 亿元和第二名晶盛机电的 8.59 亿元，低于行业平均数 5.17 亿元和中位数 2.96 亿元。

江苏微导纳米科技股份有限公司近期专利情况如下：